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厦门士兰集宏半导体有限公司8英寸SiC功率器件芯片制造生产线项目（一期）阶段性竣工环境保护验收

审批

福建-厦门-海沧区

发布时间： 2026年10月16日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0205MADBPM9123	吴文
杨源铭	**门市区
市区**三路999号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****8英寸SiC功率器件芯片制造生产线项目（一期）阶段性竣工环境保护验收

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3972-C3972-半导体分立器件制造
	**门市区 **三路999号
经度:117.999220 纬度: 24.485290	****环境局
	2024-10-12
厦环审〔2024〕82号	****
2025-07-18	560000
11207	****
****0205MADBPM9123	省**公司
913********816562Q	省**公司
913********816562Q	2026-05-31
2026-06-01	2026-08-31
2026-09-14	2026-10-12
	https://www.****.org/

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产8英寸SiC功率器件芯片42万片	年产8英寸SiC功率器件芯片28万片
项目进行分阶段建设，设备数量尚未全部投建，本次验收实际设计规模为年产8英寸SiC功率器件芯片28万片，验收监测期间生产规模为日产8英寸SiC功率器件芯片510~537片，达到设计规模的65~68%。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

涉及工序较多，涉及刻蚀、光刻、清洗等。	工艺与环评一致
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

酸性废气配置5套“碱液喷淋洗涤塔”、碱性废气配置2套“喷淋洗涤塔”（1用1备），有机废气配置2套“转轮浓缩+焚烧”装置（1用1备），工艺废气自带尾气处理装置（POU处理器）处理后，尾气引入酸性废气处理系统处理，不单独设置排气筒。 ****处理站：酸碱废水设计处理规模5760m3/d，采用“二级酸碱中和反应”处理工艺，尾水→最终中和调节池→废水总排口含氟废水设计处理规模5760m3/d，采用“混凝沉淀反应”处理工艺，含氟废水→pH调节→反应池→混凝→絮凝→沉淀池→最终中和调节池→废水总排口有机废水设计处理规模960m3/d，采用“二级生化法”处理，有机废水→pH调节→缺氧池→好氧池→二沉池→最终中和调节池→废水总排口含氨废水设计处理规模600m3/d，采用“两级吹脱+一级吸收反应”处理工艺，含氨废水→pH调节池→两级吹脱→吸收→尾水进入含氟废水系统研磨废水设计处理规模1200m3/d，采用“混凝沉淀反应”处理工艺，研磨废水→pH调节→反应池→混凝→絮凝→沉淀池→最终中和调节池→废水总排口	目前处理能力规模2880m3/d，处理工艺同环评；后续规划在2楼增加钢化槽体，增加处理规模。有机废水设计处理规模960m3/d，采用“二级生化法”处理，有机废水→pH调节→缺氧池→好氧池→二沉池→最终中和调节池→废水总排口含氨废水设计处理规模600m3/d，采用“两级吹脱+一级吸收反应”处理工艺，含氨废水→pH调节池→两级吹脱→吸收→尾水进入含氟废水系统研磨废水设计处理规模1200m3/d，采用“混凝沉淀反应”处理工艺，研磨废水→pH调节→反应池→混凝→絮凝→沉淀池→最终中和调节池→废水总排口
阶段性建设，环保设施配套进行建设。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

设立公司内部环境保护管理机构，按要求配备环保专职人员，制定各项相关环境管理制度，建立环保岗位责任制，加强岗位培训，严格执行环保设施的操作规程和运行维护管理制度，确保各项环保设施正常运行，防止事故排放和泄漏。严格执行运营期环境监测计划，确保各项污染物稳定达标排放和满足总量控制的要求。	企业已建立内部环境保护管理机构，按要求配备环保专职人员，制定各项相关环境管理制度，建立环保岗位责任制
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

78.7035	1	77.704	77.704
14.9537	0	14.954	14.954
3.7738	0	3.774	3.774
0.1535	0	0.153	0.153
17	0	17	17
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
2.274	0	2.274	2.274	/
0.384	0	0.384	0.384	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

污水处理站

《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准

污水处理站

污水处理设施出口浓度pH7.2-8.0、悬浮物18-30mg/L、化学需氧量18-20mg/L、氨氮4.19-5.4mg/L、总磷0.08-0.31mg/L、总氮16.9-28.0mg/L、阴离子表面活性剂0.47-0.53mg/L、石油类0.53-0.55mg/L、氟化物2.8-5.28mg/L、废水排放符合《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）半导体间接排放标准（pH6~9、SS≤400mg/L、石油类≤20mg/L、COD≤500mg/L、氨氮≤45mg/L、总氮≤70mg/L、总磷≤8.0mg/L、阴离子表面活性剂≤20mg/L、氟化物≤20mg/L）。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸性废气处理设施	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）表1、表2标准	碱液喷淋80000 m3/h*3	酸性废气排气筒（FQ-202514-2~3）硫酸雾、氟化物、氯化氢、氯气、二氧化硫及氮氧化物均未检出，酸性废气处理设施出口最大排放浓度、排放速率：颗粒物1.9mg/m3、9.110-2kg/h；废气排放符合《*市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）表1、表2标准要求（硫酸雾排放浓度限值≤10mg/m3、排放速率≤1.2kg/h；氟化物排放浓度限值≤5mg/m3、排放速率≤0.08kg/h；氯化氢排放浓度限值≤30mg/m3、排放速率≤0.2kg/h；氯气排放浓度限值≤25mg/m3、排放速率≤0.4kg/h；二氧化硫排放浓度限值≤200mg/m3、排放速率≤2.1kg/h；氮氧化物排放浓度限值≤200mg/m3、排放速率≤0.62kg/h；颗粒物排放浓度限值≤30mg/m3、排放速率≤2.8kg/h）。
2	碱性废气排气筒	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准要求	水喷淋洗涤塔(加硫酸)80000 m3/h*2	FQ-202515-1碱性废气处理设施出口，最大排放速率：氨1.3*10-2kg/h，废气排放符合《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准要求（h≥40m，氨排放速率≤35kg/h）。
3	有机废气处理系统	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）表1、表2标准	有机废气沸石转轮浓缩+焚烧60000 m3/h*2	FQ-202516-1有机废气处理设施二氧化硫及氮氧化物均未检出，设施出口最大排放浓度、排放速率：非甲烷总烃0.72mg/m3、3.310-2kg/h；废气排放符合《*市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）表1、表2标准要求（非甲烷总烃排放浓度限值≤60mg/m3、排放速率≤1.8kg/h，二氧化硫排放浓度限值≤200mg/m3、排放速率≤2.1kg/h；氮氧化物排放浓度限值≤200mg/m3、排放速率≤0.62kg/h；颗粒物排放浓度限值≤30mg/m3、排放速率≤2.8kg/h）
4	实验室废气	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）表1、表2标准	碱液喷淋60000 m3/h*3	FQ-202601实验室废气排放口，氮氧化物未检出，处理设施出口最大排放浓度、排放速率：非甲烷总烃0.72mg/m3、8.410-3kg/h；废气排放符合《*市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）表1、表2标准要求（非甲烷总烃排放浓度限值≤60mg/m3、排放速率≤1.8kg/h，氮氧化物排放浓度限值≤200mg/m3、排放速率≤0.62kg/h）。
5	污水处理站废气处理系统	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1	废水处理站废气两级碱液喷淋20000 m3/h*2	FQ-202517污水处理站废气排气筒，硫化氢未检出，处理设施出口最大排放速率：氨8.5*10-3kg/h；臭气浓度最大排放浓度为30（无量纲）；废气排放符合《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1标准要求（h≥30m，氨排放速率≤20kg/h，硫化氢排放速率≤1.3kg/h，臭气浓度小于10500（无量纲））
6	危废间废气处理系统	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）表1、表2标准	危废间废气活性炭吸附3200 m3/h	FQ-202518危险废物仓库废气排气筒处理设施出口最大排放浓度、排放速率：非甲烷总烃2.03mg/m3、6.4810-3kg/h；废气排放符合《*市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）表1、表2标准要求（非甲烷总烃排放浓度限值≤60mg/m3、排放速率≤1.8kg/h）

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂房隔声、基础减震

3. 西、北厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准（昼间≤65dB、夜间≤55dB），东侧临主干道**路，南侧临近次干道**三路，噪声执行其4类标准（昼间≤70dB、夜间≤55dB）

主要的噪声污染源有生产设备、空压机、水泵、冷却塔等，主要通过选用低噪声设备，设置减震、柔性连接，通过墙体隔声和距离衰减减少噪声影响

项目正常运营，西侧、北侧项目厂界噪声监测结果为昼间57~59dB、夜间53~54dB，满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准（昼间≤65dB、夜间≤55dB）；东侧、南侧项目厂界噪声监测结果为昼间59~63dB、夜间52~54dB，满足其4类标准（昼间≤70dB、夜间≤55dB）

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

严格落实各项地下水、土壤污染防治措施。严格落实车间、****处理场所、危险废物暂存场所等地面及有关构筑物、管道的防渗、防腐、防漏措施，严防废液、废水渗漏污染土壤和地下水。强化防渗等隐蔽工程监管，防渗设施应纳入环保验收。按照《地下水环境监测技术规范》，设置地下水监控井等设施，落实地下水水质定期监测制度

按照批复要求执行

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

按照国家关于固体废物处置要求，做好固体废物的分类收集、**化利用和无害化处理工作，不得随意排放。规范固体废物分类暂存设施和场所，危险废物按特性使用符合国家标准的专门容器分类收集、贮存，贮存场所应采取防水、防渗、防腐处理，并设置危险废物警示标志。危险废物的转移处理必须委托有相应资质的单位承接，并严格实行转移联单制度和申报登记制度

项目设置分类生活垃圾收集桶，由环卫部门统一清运。 ****中心一楼设置一般固体废物仓库1间，面积约30㎡，存放SW17类可再生类废物；硫酸铵储罐区面积10m2，存放硫酸铵溶液；污泥存放区面积250m2，****处理站污泥、研磨污泥及含氟污泥；其建设《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）要求，符合防风、防雨、防晒措施等要求。 **回收站设有101有机废液间（30㎡），存放废异丙醇；102酸废液间（30㎡），存放废BOE蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废物；103固废间（105㎡），存放废滤芯、废汞灯、废润滑油、废水站检测废液、化学品废包装物；其他空桶存放间（250㎡），存放物料空桶。 101主厂房西侧一层设有废液收集区，面积约320㎡，有机废液间170㎡，设有有机溶剂储罐一个30m3，IPA储罐一个20 m3，其他备用储罐2个，各20 m3；无机废液间150㎡；废水提升站负一层设2个废硫酸液收集储罐（2*30m3）、1废磷酸储罐（20 m3，目前空置、未启用）、2个废硝酸混酸储罐（2*12 m3）。各危废暂存间其建设符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）、《危险废物识别标志设置技术规范》（HJ1276-2022）要求，设置危险废物标识标牌及管理制度，有耐腐蚀的硬化地面和基础防渗层，设有防风、防雨、防晒措施等。

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

严格落实各项环境风险防范措施和应急措施。切实加强危险化学品的运输、储存、使用等环节的安全管理工作，制定相应的管理制度和安全操作规程；****处理站、有机废气收集处理设施等重要环保设施安全风险辨识，强化各类事故防范措施。配套应急事故池，满足报告表测算的容积和废水收集要求，防止事故废水外排厂区。制定突发环境事件应急预案，****生态环境局备案，定期进行演练，完善应急**配备，杜绝各种突发性事故引发二次污染和次生环境问题

****已完成突发环境事件应急预案备案，备案编号350205-2026-005-M。****在各风险单元均设有风险防范措施，废水站内设置事故应急水池，分别为无机废水应急池容积约1476m3、有机废水应急池容积约767m3、其他应急池容积约354m3。甲类仓库西侧设一个容积1495 m3的消防废水收集池；厂区南侧设2个事故雨水收集池，容积分别为720 m3、785 m3项目厂区雨水排放口设置转换阀门。事故状态下，厂区内的事故废水、消防排水由收集系统收集；厂区雨水排放口设置应急阀门，确保在发生火灾事故时，将消防产生的废水截流至厂区事故应急池。根据****8英寸SiC功率器件芯片制造生产线项目（一期）核算“事故应急池不应小于2271m3”，目前实际事故池总容积为2579m3，满足要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程