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| 水平及纵向位移台 | 1.0/ | 卓立汉光 | KA600/KA600-Z | 包括控制器及运动位移台 运动控制器MC600-2B, 支持两轴控制, 支持256细分, 支持闭环控制, 配套MC600控制软件 水平运动台KA600 行程600mm, 台面尺寸200mm× 200mm, 闭环分辨率0.5μ m重复定位精度≤≤± 5μ m, 水平负载80kg, 最大速度50mm/s, 带光栅尺反馈机构 纵向运动台KA600-Z 行程600mm, 台面尺寸200mm× 200mm, 闭环分辨率0.5μ m重复定位精度≤≤± 5μ m, 竖直负载30kg, 最大速度50mm/s, 带光栅尺反馈机构, 增加竖直方向使用的直角固定块及失电保护装置 | 按行业标准提供服务 |