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离子束抛光机及配套设备采购意向公开

广东 -深圳

发布时间： 2026年10月19日

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抛光机设备采购公开

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离子束抛光机及配套设备采购意向公开

采购单位	****
项目名称	离子束抛光机及配套设备
预算金额（万元）	485万元
采购品目	电气物理设备
采购需求概况	为**研究院超精密光学加工平台在亚纳米级精度制造的短板，完善光学元件全流程制造与检测工艺链，支撑极紫外光学、空间光学、先进激光等重点研究方向发展，研究院拟采购离子束抛光机1台（设备用于确定性修形加工，可实现光学元件亚纳米级面形精度），白光干涉仪1台（设备用于检测半导体/光学元件中频粗糙度，检测精度小于0.1 nm），激光干涉仪1台（设备用于检测光学元件低频面形误差，可实现亚纳米精度检测）以及2台机械臂抛光设备（设备用于半导体/光学元件的超光滑抛光，抛光精度可达原子级），**研究院在先进光学制造与精密测量方向的前沿科研与人才培养。
联系人	许老师
联系方式	电话：0755-**6690邮箱**@siitsz.com
预计采购时间	2026年11月
备注	无