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深圳职业技术大学微波等离子体化学气相沉积设备意向公开
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****微波等离子体化学气相沉积设备意向公开
| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 微波等离子体化学气相沉积设备 |
| 预算金额（元）: | 4,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | ****学院专业的教学而言，微波等离子体多参数调控气相反应设备具有重要作用。该设备可用于《微电子及集成电路基础》《半导体材料与器件》等课程的实践教学，预计每年能为相关课程提供不少于 180 课时的实训内容，使学生掌握宽禁带半导体材料（如金刚石）制备、微波等离子体参数调控核心技能。同时，其可为《国产芯片创新实践》课程提供材料生长工艺优化与性能表征实训，每年支撑不少于 120 课时的教学任务，培养学生半导体材料制备工艺设计、契合宽禁带半导体领域专业人才培养需求。目前学院缺少此类实操设备，采购后能填补教学空白，让学生将理论知识与设备操作结合，提升专业实践能力和工程应用素养。在科研领域，微波等离子体多参数调控气相反应设备由微波产生部件、耦合结构等组成，基于微波传输原理，能高效输出稳定微波能量，通过高精度定位装置和温控系统，实现基片精准定位与温度精确控制；****学院在微波通信、信号处理等课程与科研中的需求。此设备主要用于金刚石的生产制备，2023年采购的设备不能生产制备金刚石，故不存在重复购置情况，采购后能为金刚石材料研发等科研方向及教学提供硬件支撑，推动科研项目落地与创新突破。 |
| 联系人: | 王老师 |
| 联系电话: | 138****8507 |
| 预计采购时间: | 2026-11 |
| 备注: | 无 |
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2026-10-20
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