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| 1 | 分子泵组 | 莱宝 | 1.前级泵配置莱宝涡旋泵,抽速15m3/h; 2.分子泵配套莱宝分子泵,抽速350L/s; 3. 机组极限真空度能达5E-8pa; 4.机组包含转换腔,转接口,全量程真空计,触摸屏控制等; 5.机组包含可吊装移动小车、电源、风扇、分子泵破空阀、管路等; 6.支持远程控制,支持TCP/IP协议; 7.需要提供现场安装调试服务; 8.如有异常需要24小时内到现场解决。 | 套 | 1 | 8个月 | 广****园区中子源路1号 |