开启全网商机
登录/注册
高真空多靶磁控溅射镀膜机竞价公告
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
| 项目名称 | 高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 项目编号 | **** |
| 项目编号 | **** | ||
| 公告发布日期 | 2026/10/21 10:03 | 公告截止日期 | 2026/10/26 10:03 |
| 公告截止日期 | 2026/10/26 10:03 | ||
| 采购单位 | **** | 是否本地化服务 | 否 |
| 是否本地化服务 | 否 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 采购预算 | ￥250,000.00 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 送货/施工/服务期限 | 自合同签订之日起10天内完成设备的运输、安装、调试。 | ||
| 送货/施工/服务地址 | ****主校区 | ||
| 售后服务 | （1）自货物技术验收合格之日起，软件系统、硬件提供1年的免费保修服务；质保期内无条件免费维护以及升级；（2）所有设备质保期内提供 8小时上门服务，确保1个小时内响应，要求3小时到达现场，4小时修复故障，若不能修复，需要在 48小时内提供备件到达用户使用现场。（3）免费提供用户培训服务，培训时间及形式灵活，达到用户完全掌握。 | ||
| 付款条款 | 合同生效后发货前预付30%，货到验收合格后支付70% | ||
| 其他说明 | 无 | ||
采购清单
1
| 采购内容 | 数量单位 | |||
| 高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 1(套) | |||
| 是否进口 | 否 | |||
| 指定品牌及型号 | 承宽/SVD-350 沐东真空/VIS350 | |||
| 技术参数要求 | ★1.真空腔室：φ350×H400mm，SUS304 优质不锈钢真空腔室，前开门结构； 2.真空系统：复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计； ★3.真空极限 6.0×10-5Pa（设备空载，抽真空 24 小时）; ▲4.升压率：设备升压率：≤0.8Pa/h（12 小时平均值）； 设备保压：停泵 12 小时后，设备真空度≤10Pa； ★5.抽速：从大气抽至 5.0×10-3Pa≤15min（设备空载）； 从大气抽至 5.0×10-3Pa≤10min（设备空载，干燥氮气环境）； 6.基片台：①基片台尺寸 Φ120mm，最大样品尺寸小于 Φ120mm；配有基片台挡板； ②旋转转速 0～20 转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计，可加偏压电源； ▲③加热:室温～500±1℃（基片台环境温度）；PID 智能温控闭环控温，可控可调。 ★7.溅射靶及电源：①配置 3 套 2 英寸永磁共焦磁控溅射靶（靶角度、靶基距手动可 调），向上溅射；②工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅 射镀膜；③电源：直流脉冲溅射电源 1kW，数字化控制及显示，2 台； 射频电源 500W， 数字化控制及显示，1 台； 脉冲偏压电源：-1kV， 数字化控制及显示，1 台。 ▲8.工作气路系统：质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；O2，10sccm； 9.膜厚不均匀性：≤±5%（单靶镀膜，基片台 Φ75mm 范围内）； 10.控制方式：PLC+触摸屏控制； ▲11.软件：手/自动控制方式，能够通过显示屏实时显示系统真空，工艺参数及工艺 过程历史数据、报警的记录等；可以实现工艺菜单灵活编辑（可以在工艺编辑软件 进行模块化的工艺菜单编辑）+工艺菜单自动控制执行模式（载入工艺菜单，支持实 现无人值守或远程网络控制镀膜）；（要求响应时提供系统功能截图证明） 12.报警及保护：对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护 系统; ▲13.辅助设备：随机配备冷却循环水机，小型静音空气压缩机各 1 台； ▲14.靶材：随机配备 2 英寸钴、银、锰靶材各 1 块。 | |||
招标进度跟踪
2026-10-21
招标公告
高真空多靶磁控溅射镀膜机竞价公告
当前信息
标书代写
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
