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| 多环境射频兼容直流测试系统 | 英铂 | 191400.00 | 按行业标准提供服务 | 1、电学测试台主机 1.1 ★样品台(Chuck):可装载包括8英寸以内样品,具备向下兼容;样品真空吸附开关,并且吸附区域可选择,具备刻度环;平整度<±10μm。 1.2样品台可微调角度±5°。 1.3 ★X/Y气浮式快速平台移动范围≥230mm×290mm;微米级精细移动范围≥25mm×25mm。 1.4可方便、无风险样品装载,chuck具有背电极测试接口标准BNC。 1.5 针座放置平台(Platen)可调节位移≥18mm,重复精度10um。 1.6 ★针座放置平台有三档调节微调高度设计(防止更换样品时,针尖与样品意外碰撞),且具备电子互锁功能,LED灯提示. 1.7 最多可容纳10组DC直流针座和4组RF射频针座。 1.8 机台可支持升级探卡夹具 1.9机台具备≥2套AUX独立校准载台,可满足射频应用需求2、显微镜系统 2.1★ 气动升降支架:可以X/Y轴线性移动;移动范围:50mm×50mm,设计扩展其它仪表整合显微镜一体化。 2.2 ★配备金相显微镜和超长工作距离物镜:工作距离51~76mm;视场数≥24mm;物镜包含:2X NA 0.22;10X NA0.25;以及20X的长工作距离物镜 2.3 包含HDMI接口高清CCD,视窗接口c-mount,可以直接显微镜观察,匹配大于21英寸显示器 2.4 包含卤素光纤光源照明。 2.5具备显微镜桥接口,可以自行更换、升级显微镜。 2.6★ 具备显微镜气动升降功能,便于快速、安全更换样品,Z轴满足>100mm。3、探针座 3.1 配备4组磁性吸附的探针座。 3.2 针座X/Y/Z 移动精度≤0.7um,在X/Y/Z方向行程≥12mm。4、附件 4.1 具备三轴针杆≥2条,棘爪式固定方式,漏电≤100fA 4.2 直流探针≥1盒 4.3 配备26GHz射频探针和线缆≥2根,线缆长度1200mm 4.4 配套校准片≥1个5.隔震系统 5.1隔震方式:空气弹簧隔离器 5.2固有频率:水平方向≤3Hz;垂直方向≤3.5Hz 5.3 外形尺寸:≥1000mm×900mm×800mm 5.4具有水平自动调节系统。安装有多个水平自动调节阀。 5.5含静音气泵,带脚轮,载荷≥400kg | 1.0套 | YB800N-A | 191400.00 | **** |