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| 滚筒等离子清洗机 | 1.0/套 | 慧仪智控(参考) | HY-20R(参考) | 1、设备类型:台式一体化双层滚筒结构; 2、射频工作频率:13.56MHz工业标准射频频率; 3、等离子输出功率:射频功率连续可调,调节范围1W300W,最大输出功率不低于300W,可通过触摸屏直接设置功率,非档位式调节; 4、腔体有效容积:腔体有效容积≥20L; 5、电感耦合自动匹配; 6、MFC:300sccm,2路,精度±0.1%; 7、真空腔体:腔体内径≥Φ380mm,腔体具备良好耐等离子腐蚀能力,整机真空密封性满足等离子工艺使用要求; 8、工艺气路:不少于2路独立工艺气体通道,每一路气体流量均可独立调节,配置高精度流量控制元件; 9、适用工艺气体:可使用氩气、氧气、氮气、干燥空气,支持两种及以上气体混合等离子工艺处理; 10、真空系统:配套专用真空泵干泵,真空泵抽速≥2.2L/s;设备配置真空数显模块,真空计实时显示腔体内真空压力; 11、整机外形:台式机型,整机外形尺寸长≤625mm,宽≤600mm,高≤1300mm;12、质保期:自通过验收之日起不少于1年 | 按行业标准提供服务 |