招标详情
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400-688-2000
项目名称
| 单光束激光聚焦矢量直写 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2026-10-26 07:31:09 | 公告截止日期
2026-10-29 12:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
货到验收合格付款 |
联系人
| 联系电话
|
签约时间要求
| 到货时间要求
成交后30个工作日内 |
预算总价
| ¥320000.00 |
发票要求
|
含税要求
|
送货要求
|
安装要求
|
收货地址
| ****校内 |
供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
|
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 单光束激光聚焦矢量直写 |
1 |
台 |
其他专用仪器仪表 |
品牌
| 玉之泉 |
型号
| Edulab-100 |
预算单价
| ¥ 320000.00 |
技术参数及配置要求
| (1)单光束激光聚焦矢量直写,单点光斑逐点扫描,支持JPG、TIFF、GDS、DXF矢量图形导入;中心波长为405nm可兼容常用光刻胶曝光波段;照**源波长590nm。提供均匀背景照明,辅助视觉观察。 (2)最小线宽:1μm厚光刻胶下≤3μm (3)2个物镜,分别为2.5X、5X,手动切换 (4)配置真空吸附样品台 (5)XY平台最大行程:100*100mm,Z轴行程5mm,最小步进精度1μm (6)矢量扫描速度:最大50mm/s (7)具备多视场拼接及拼接误差补偿,支持Mark点识别定位 (8)光刻胶适用厚度0.5-150μm,兼容正胶、负胶、SU8厚胶 (9)兼容硅、玻璃、有机薄膜基板,基板厚度0.2-5mm (10)搭载同轴指示观察光路,配套专用控制软件,可保存多套工艺配方 (11)配置USB3.0接口的 500万像素相机,实现高分辨率成像,支持工件定位、对焦检测及加工过程监控,达到高速数据传输,保证实时图像采集,图像式自动对焦,基于相机图像分析,实现快速精准对焦 (12)供电要求兼容220 V交流电源;具备必要的紫外防护、联锁保护、急停或等效安全设计。在温度22-25℃、相对湿度40%-65%的实验室环境内能正常、稳定工作 (13)原厂安装培训,质保1年 |
参考链接
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售后服务
| 质保期:不少于1年,质保期内免费维保不少于1次/年,免人工服务费。质保期满后,仍需提供有偿专业维修服务。服务响应时间:接到维修电话后4小时内给予明确答复,24小时内提供远程诊断或初步解决方案;确需现场维修的,48小时内到达现场或提出经用户认可的替代处理方案; |