单光束激光聚焦矢量直写(JJ2026000077)采购公告

发布时间: 2026年10月26日
摘要信息
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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
单光束激光聚焦矢量直写****
2026-10-26 07:31:092026-10-29 12:00:00
****货到验收合格付款
成交后30个工作日内
¥320000.00
****校内

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
单光束激光聚焦矢量直写 1 台 其他专用仪器仪表
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
玉之泉
Edulab-100
¥ 320000.00
(1)单光束激光聚焦矢量直写,单点光斑逐点扫描,支持JPG、TIFF、GDS、DXF矢量图形导入;中心波长为405nm可兼容常用光刻胶曝光波段;照**源波长590nm。提供均匀背景照明,辅助视觉观察。 (2)最小线宽:1μm厚光刻胶下≤3μm (3)2个物镜,分别为2.5X、5X,手动切换 (4)配置真空吸附样品台 (5)XY平台最大行程:100*100mm,Z轴行程5mm,最小步进精度1μm (6)矢量扫描速度:最大50mm/s (7)具备多视场拼接及拼接误差补偿,支持Mark点识别定位 (8)光刻胶适用厚度0.5-150μm,兼容正胶、负胶、SU8厚胶 (9)兼容硅、玻璃、有机薄膜基板,基板厚度0.2-5mm (10)搭载同轴指示观察光路,配套专用控制软件,可保存多套工艺配方 (11)配置USB3.0接口的 500万像素相机,实现高分辨率成像,支持工件定位、对焦检测及加工过程监控,达到高速数据传输,保证实时图像采集,图像式自动对焦,基于相机图像分析,实现快速精准对焦 (12)供电要求兼容220 V交流电源;具备必要的紫外防护、联锁保护、急停或等效安全设计。在温度22-25℃、相对湿度40%-65%的实验室环境内能正常、稳定工作 (13)原厂安装培训,质保1年
质保期:不少于1年,质保期内免费维保不少于1次/年,免人工服务费。质保期满后,仍需提供有偿专业维修服务。服务响应时间:接到维修电话后4小时内给予明确答复,24小时内提供远程诊断或初步解决方案;确需现场维修的,48小时内到达现场或提出经用户认可的替代处理方案;

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