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| 射频电源 | 1.0/套 | MKS(参考) | EDGE 10060A-E13(参考) | 1.****中心工作频率:60.00 MHz ; 2.频率范围覆盖:57.000–63.000 MHz; 3.频率稳定度:±0.005% ; 4.输出阻抗:50 Ω ; 5. 功率调节模式:负载功率 leveling(负载功率 = 正向功率 反射功率); 6. CW 模式动态范围覆盖:100–7,500 W ; 7. CW 模式设定范围覆盖:0–7,500 W; 8. 脉冲模式动态范围覆盖:100–10,500 W ; 9. 脉冲模式设定范围覆盖:100–10,500 W 10.脉冲峰值功率:≥10500W; 11. 脉冲平均功率:≥7,500 W(按脉冲周期平均); 12. 零设定点:≤ 3 W(RF 开启时的输出或回读功率); 13. 数字保护环路:反向功率阈值 2,000 W,响应时间≤ 55 μs ; 14. 前向输出功率极限:10,900 ±100W; 14. 最大反射功率极限:600 W; 16. 电气测量套件:阳极氧化铝屏蔽,可配置超过 44 个引脚的芯片载体,> 16 个 BNC 或 SMA 端子,直流电流噪声 < 0.1 pA @ 1V,可通过的交流电频率 > 1GHz; 17.可接受二手,但提供整机售后质保期2年。质保期内,免费提供维修、更换零部件及技术支持服务;同时承诺免费提供上机软件安装、参数配置、联调调试、软件版本适配升级等现场技术服务,保障设备软件系统稳定运行。 18.货期:合同签订之日起14天内到货。 19.付款方式:货到验收合格后付款。 | 按行业标准提供服务 |