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| 1 | 柔性电极快速制备系统 | 本项目拟购置“柔性电极快速制备系统”1套,基于355 nm紫外二极管泵激光的光蚀效应,在对柔性基底材损伤极小的条件下,实现对溅射属层的高精度图形化加工,最小加工精度应达20 μm以内。系统应具备229 mm × 305 mm的大面积加工能及高精度扫描控2 / 2制,可满足复杂柔性电子件(如多通道传感阵、微流控芯片等)的加工需求;配套的软件参数库涵盖多种常用及进口材,有助于支持多类型柔性基底(如PI、PDMS等)及功能材体系的开发。 | ****000.00 | 2026-11 |