关于哈尔滨工业大学（深圳）探针台设备采购项目的更正公告

原技术要求

更正后技术要求

★1.1可以测试≤20MHz电压信号（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）；

★1.2 fA漏电电流精度不失真，探针台加上测试设备后整个测试系统测试设备电流分辨率≤1fA、漏电流≤0.1pA（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

★1.3 有真空泵

★1.4 可以拓展多种波长光源

★1.5 样品台可以加温，可以制冷

★1.6 有保护罩

▲1.7 探针有开尔文探针≥3根，直流探针≥5根

★1.8 针尖直径≤2μm，针长≥38mm

★1.9 放大倍率≥1000倍可以清晰在屏幕看到1μm的方块（镜头清晰度、相机像素分辨率、高清接口、图片分辨率），物镜最大≥20倍

▲1.10 温度精度优于或等于0.01K；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

▲1.11 温度分辨率优于或等于0.001K，温度在0.1K稳定；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

▲1.12 可见光光源发光光强≥50cd；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

1.13 探针移动范围≥20mm；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

★1.14 探针移动精度≤2μm；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

★1.15 具备≥6个探针臂接口（可兼容直流臂、光纤臂、射频臂）

▲1.16 样品台温度范围：低温端≤70K（配备液氮制冷方式，含所需杜瓦/传输管路等制冷附件），高温端≥450K，温区内温度连续可调；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

1.17 双屏蔽三轴线缆

1.18 瞬态脉冲电流测试与探针台连线≥6根

1.19 380nm≤可见光光源可调波长范围≤760nm，波长的调控精度≤1nm。提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

▲1.20 光源应具备近红外波段输出能力，760nm≤近红外光光源可调波长范围≤1100nm，波长调控精度≤1nm；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料，在证明材料中标注参数具体位置）

▲1.21 光源光强可调：在1.19、1.20所述波长范围内的任一输出波长下，输出光强均可独立调节，光强连续可调或分挡可调，且由最低挡调至最高挡时，样品台面照明亮度变化肉眼可明显分辨。

★1.1可以测试≤20MHz电压信号（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）；

★1.2 fA漏电电流精度不失真，探针台本身漏电流≤0.05pA（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

★1.3 有真空泵

★1.4 可以拓展多种波长光源

★1.5 样品台可以加温，可以制冷

★1.6 有电磁屏蔽罩，双屏蔽三轴线缆

★1.7 探针有开尔文探针≥3根，直流探针≥5根

★1.8 针尖直径≤2μm，针长≥38mm

★1.9 放大倍率≥800倍可以清晰在屏幕看到1μm的方块（镜头清晰度、相机像素分辨率、高清接口、图片分辨率），物镜最大≥10倍

1.10 温度精度优于或等于0.01K；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

▲1.11 温度分辨率优于或等于0.001K，温度在0.1K稳定；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

★1.12 可见光光源发光光强≥50cd；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

1.13 探针移动范围≥20mm；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

★1.14 探针移动精度≤2μm；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

★1.15 具备≥6个探针臂接口（可兼容直流臂、光纤臂、射频臂）

▲1.16 样品台温度范围：低温端≤80K（配备液氮制冷方式，含所需杜瓦/传输管路等制冷附件），高温端≥450K，温区内温度连续可调；温度控制系统应具备不少于2路独立温度采集通道，其中1路用于样品台温度的闭环控制，另1路用于样品或样品附近温度的独立监测；应具备至少1路PID闭环加热控制输出。各温度通道应能够同时显示和记录温度数据，所配温度传感器、控制器及加热输出应覆盖80～450 K温度范围。提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

1.17 探针台应配置与整机尺寸及承载能力相匹配的气浮减震台或性能相当的减震装置，以降低建筑物地面振动及周围设备振动对探针定位、探针与电极接触稳定性和电学测试结果的影响。真空泵、空气压缩机及其他可能产生振动的附件应采用独立减震、柔性管路连接或远离探针台主体布置，不得因附件运行导致探针明显移位、脱离电极或接触状态发生明显变化。

1.18 瞬态脉冲电流测试与探针台连线≥6根

★1.19 380nm≤可见光光源可调波长范围≤760nm，波长的调控精度≤1nm。提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

1.20 光源应具备近红外波段输出能力，760nm≤近红外光光源可调波长范围≤1100nm，波长调控精度≤1nm；提供产品说明书或技术说明书或产品彩页或产品实拍图片复印件（投标时需提供制造商公布的产品说明书或产品彩页或白皮书等作为证明材料）

1.21 光源光强可调：在1.19、1.20所述波长范围内的任一输出波长下，输出光强均可独立调节，光强连续可调或分挡可调，且由最低挡调至最高挡时，样品台面照明亮度变化肉眼可明显分辨。

1.22 光源光斑尺寸可调：在样品台正常测试平面及额定工作距离处，当光斑覆盖50 μm×50 μm器件区域时，光斑直径应≤200 μm；光斑直径以二维辐照度分布的半高全宽（FWHM）长轴值计，狭缝10μm-3mm可调。照射区域内辐照度非均匀性应≤10%。样品台测试平面处的输出光功率和光功率密度应连续可调，单色光最大输出光功率密度应≥110 mW/cm2。主机整体黑色吸收杂光设计，光源采用陶瓷一体汇聚光，软件可以定时间、定波长输出指定单色光，可以和检测设备同步实现实时测量。具有电动滤光片轮，拒绝手动不精准，软件同步驱动，消除多级光谱。现有标准软件同步锁相放大器和斩光器、快门、****工作站等。提供调用函数和labview等示例。出入光口积木**结构，易于增减配件，扩充应用。空间光和光纤双输出，光纤为紫外增强石英光纤（含深紫外、可见、红外）。单色光最小间隔0.0045nm。

1.23 光源系统应具备脉冲输出功能，光脉冲宽度连续可调或分档可调，最短可设脉宽≤10 ms，最长可设脉宽≥0.5 s，并支持单次脉冲和周期性脉冲输出；脉冲输出应支持软件控制或外部触发。投标人应提供光源进入光路前的输入光功率、经过光纤及光学系统后到达样品台测试平面的输出光功率，以及光耦合效率。

▲1.24 样品台（卡盘）：样品台直径D≥6英寸；测试面采用镀金无氧铜/镀金黄铜或其他满足低漏电和足够稳定持久的导电材料，作为 Guard/背电极并配置三同轴屏蔽接口；卡盘与接地基座之间采用氮化铝（AlN）或氧化铝（AlO）陶瓷、PTFE 或其他材料做绝缘支撑。

原★安装调试及验收

更正后★安装调试及验收

2.1投标人应派有经验的技术人员到现场进行安装、调试，直到设备正常使用。

2.2由采购人按合同和征集、投标文件约定的要求和标准及中华人民**国现行的验收规范和评定标准进行交货验收。标书代写

2.3 投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保**件。

2.4当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

（1）设备全新,外观无伤痕变形或明显修饰痕迹。

（2）如有国标，必须符合有关规定；如无国标，则按照行业标准；如无国标及行业标准，则按双方约定执行。投标文件提供的技术数据经实测证实是真实的。检验及质量保证期内达到的性能指标与要求一致，达到或优于相应标准。标书代写

（3）技术文件资料、备件等已按规定数量移交完毕。

（4）按照征集书要求及投标文件提供的技术要求验收必须合格。标书代写

（5）投标人提供的各种文件载明的内容必须真实，其技术数据采购人有权要求投标人无偿提供采购人认可的第三方按照双方同意的试验方法进行检测。检测结果必须证明投标人提供的技术数据是真实的，否则视为不合格。

（6）货物具备产品合格证。

（7）在货物安装调试合格后，所有技术指标达到技术规范书要求，经验收合格后，双方共同签署验收报告。

（8）中标人已就技术要求中需提供证明资料的指标项，提交产品彩页或白皮书等实测结果记录及照片（含设备型号、测试条件、实测读数、测试日期），且实测结果与投标文件承诺值一致；实测结果与投标时提交的产品说明书、产品彩页等证明材料不一致的，采购人有权拒绝签发验收报告。标书代写

2.1投标人必须承担的设备运输、安装调试{包括但不限于提供设备安装所需接地线（如需）、三相电（如需）、安装说明、确保安装地面平整等【如有，应列明具体要求（包括适用的供电电压、功率、接地要求及其他配套条件），以及由供应商提供和需采购人配合准备的事项；如无特殊要求，应明确说明。投标人应明确对所投设备提供现场安装、调试服务，说明服务范围、是否另收安装费用及费用明细；涉及特殊安装条件的配套材料、施工或改造费用，应在报价时一并列明，并说明承担方及是否已计入投标总价】}、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

2.2投标人应派有经验的技术人员到现场进行安装、调试。投标人负责首次调试用液氮，后续由采购人自备。漏电流相关参数由课题组配备符合测试要求的半导体参数分析仪进行现场测量（半导体参数分析仪不属于本次采购供货范围。用于安装调试及验收的半导体参数分析仪由采购人负责组织提供，可采用采购人自备或经协商借用的方式，并在相关测试开始前落实。所用仪器的测量范围、测量准确度及低漏电流及低漏电流测量能力满足本项目漏电流指标的验证要求。测试按采购文件规定的统一条件和方法实施。）；仪器放大倍数、温度、光照等相关参数应在验收现场具备可显示、可查验的功能及测试条件；直到设备正常使用。标书代写

2.3中标人应在设备安装调试完成后、项目验收前，在采购人指定地点为采购人指定人员提供不少于1个工作日的免费现场培训。培训内容应至少包括探针台基本原理和安全规范、样品安装、探针安装与更换、探针定位及落针操作、真空系统操作、低温和高温控制、光源波长及光强调节、光脉冲设置、电学测试设备连接、数据采集与导出、设备日常维护及常见故障排查。

中标人应提供中文培训资料、操作手册和培训记录。培训结束后，受训人员应能够独立完成设备开关机、样品安装、探针落针、温度及光源设置、基本电学测试和数据导出等操作。培训完成并经采购人确认后，方可进行项目最终验收。培训及培训资料等全部费用均包含在投标总价中，不另行收取。质保期内，采购人提出合理需求时，中标人还应提供不少于1次免费补充培训或操作指导。

2.4检测报告及现场验收演示：

（1）中标人应在项目验收前，提交与交付设备型号、配置及出厂编号对应的制造商出厂检验报告或第三方测试报告。报告应列明检测项目、测试条件、测试方法、实测结果及判**论，并与本项目技术要求逐项对应；未在报告中覆盖的指标，应提供相应证明资料或现场测试记录。

（2）设备安装调试完成后，中标人应在采购人指定地点，配合采购人按照采购文件、合同及投标承诺开展现场检测和功能演示。验证内容应包括漏电流、显微成像及放大倍率、探针定位与移动、真空系统、温度控制及记录、光源波长与光强调节、光斑尺寸及均匀性、光功率及功率密度、光脉冲输出等相关指标和功能。定量指标应提供测量数据及判定依据；涉及计算的指标，应同时提供原始测量数据、计算公式及计算结果。标书代写

（3）中标人应在设备安装调试完成、项目最终验收前，向采购人提供用于验收测试的 NMOS 晶体管样品不少于2只。样品应为性能稳定的 N 沟道增强型 MOSFET。验收时，中标人应使用上述 NMOS 晶体管样品，完成输出特性 Id-Vd、转移特性 Id-Vg、漏电流等测试，并达到漏电流≤0.05pA、探针台加上测试设备后整个测试系统测试设备电流分辨率≤1fA、探针台加上测试设备后漏电流≤0.1pA等参数要求，且形成书面可查记录。记录应载明被测样品编号、设备型号、测试条件、接线方式、实测数据、判**论，由双方签字确认。中标人承担的检测、演示及资料编制费用均包含在投标总价中，不另行收取。中标人未提供样品、样品不符合要求、测试不通过或与投标承诺不一致的，视为未实质性满足采购文件要求，采购人有权拒绝验收，并按照合同违约条款追究责任。标书代写

2.5由采购人按合同和征集、投标文件约定的要求和标准及中华人民**国现行的验收规范和评定标准进行交货验收。标书代写

2.6 投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保**件。

2.7当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

（1）设备全新,外观无伤痕变形或明显修饰痕迹。

（2）如有国标，必须符合有关规定；如无国标，则按照行业标准；如无国标及行业标准，则按双方约定执行。投标文件提供的技术数据经实测证实是真实的。检验及质量保证期内达到的性能指标与要求一致，达到或优于相应标准。标书代写

（3）技术文件资料、备件等已按规定数量移交完毕。

（4）按照征集书要求及投标文件提供的技术要求验收必须合格。标书代写

（5）投标人提供的各种文件载明的内容必须真实，其技术数据采购人有权要求投标人无偿提供采购人认可的第三方按照双方同意的试验方法进行检测。检测结果必须证明投标人提供的技术数据是真实的，否则视为不合格。

（6）货物具备产品合格证。

（7）在货物安装调试合格后，所有技术指标达到技术规范书要求，经双方检测都通过才算验收合格，经验收合格后，双方共同签署验收报告。

（8）中标人已就技术要求中需提供证明资料的指标项，提交产品彩页或白皮书等实测结果记录及照片（含设备型号、测试条件、实测读数、测试日期），且实测结果与投标文件承诺值一致；实测结果与投标时提交的产品说明书、产品彩页等证明材料不一致的，采购人有权拒绝签发验收报告。标书代写