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半导体环境净化设备竞价公告
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
| 项目名称 | 半导体环境净化设备 | 项目编号 | **** |
| 公告发布日期 | 2026/10/27 16:35 | 公告截止日期 | 2026/10/30 16:35 |
| 采购单位 | **** | 付款条款 | 货物交付给甲方并完**装、调试、培训等服务以确保设备正常使用后，甲方向乙方支付合同金额的 100%。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 采购预算 | ￥295,000.00 | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起90个工作日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | ******学院路3号**** | ||
| 履约保证金 | 无 | ||
| 项目概况 | 本半导体环境净化设备内主要的设备为HVPE、高真空多靶磁控溅射镀膜机、雾化化学气相沉积系统、MBE-400分子束外延系统等，需为其配备空气温湿度处理及过滤系统，以满足相关仪器设备在使用上对温湿度及洁净度的要求。 本半导体环境境净化设备整体包含空气处理模块、空气动力模块、空气输送模块等三个部分，具体技术参数详见技术要求及附件。 | ||
采购清单
1
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及资质要求 | |
| 半导体环境净化设备 | 否 | 套 | 1 | 1、 提供本项目售后服务总负责人的姓名、 职务、 详细的地址和联系方式。 2、 具备稳定的技术支持团队， 具备开展项目实施和技术支持， 现场技术支援的能力， 提供技术团队人员配置情况的清单。 3、 提供售后保障措施。 （ 故障应急响应速度、 售后服务体系、 售后服务响应机制。 ） （ 1） 质保期（ 验收合格之日起计算） 1 年内免费保修（ 人为因素除外），即质保期内对所有货物进行免费无偿维护服务， 如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。 （ 2） 在质量保证期内， 设备出现故障， 投标人接到用户通知后， 应立即进行维护， 要调查故障原因并修复直至满足最终验收指标和性能的要求， 或者更换整个或部分有缺陷的设备。 （ 3） 在质量保证期内， 如设备发生故障， 投标人应在接到用户通知后， 8小时内作出响应， 以保证用户的正常工作； 在 48 小时之内不能修复时， 应在双方协商的时间之内到达现场修理， 所需费用全部由卖方负担。 若出现重大故障(非因用户操作不当造成)， 设备不能正常工作， 卖方应及时给予修复。 （ 4） 在质量保证期内， 由于投标人提供的设备或材料引起的故障(非因用户操作不当造成)， 投标人应予以无偿替换或者维修。 （ 5） 投标人在保修期内更换的任何零配件， ****设备厂家生产的或是经其认可的。 （ 6） 资料服务： ****设备厂商的技术支持网站或者通过发放的纸面文档、 电子邮件、 磁盘、 光盘等形式， 获得供方的有关产品知识、 设备运行、维护经验和技巧等方面的资料。 资料服务包括以下服务内容： 网上资料服务和资料索取服务等。 | |
| 参考品牌及型号 | 不限定品牌型号 | ||||
| 技术参数要求 | 本半导体环境净化设备需为半导体工艺设备配备空气温湿度处理及过滤系统， 以满足相关仪器设备在使用上对温湿度及洁净度的要求。 本境净化设备整体包含空气处理模块、 空气动力模块、 空气输送模块等三个部分， 具体技术参数要求详见如下 1~20条和技术参数补充附件： 1、 恒温： 22±2 ℃ 2、 恒湿： 50±10 % 3、 洁净等级：万级 4、静压差：洁净区与非洁净区≥10Pa，不同等级洁净区之间≥5Pa。 5、房间正压要求：高洁净度房间与相邻相通低洁净度房间正压应≥10Pa；洁净房间与相邻相通非洁净房间压差应≥15Pa。 6、 气流组织与送回风：气流组织形式应为顶送侧下回，洁净度等级为万级；高效送风口宜分散均匀布置或集中布置，回风口应设于侧墙下部。 7、 净化系统组型式：净化系统应采用采用直膨式AHU+HEPA送风口。 8、化学通风柜废气处理：化学通风柜排风经无机干法处理，中和后由楼顶玻璃钢风机排放。 9、排风系统材质与安装：排风管采用PP材质，废气装置置楼顶；屋面设备防雷，穿墙/屋面密封防雨防倒灌，管道防冷凝，室外立管走向整洁美观。 10、送风管道材质：送风管采用优质镀锌钢板，厚度符合GB 50243-2016。 11、 排风管道：采用无铅阻燃PP，厚度≥4mm，厚度符合GB 50243-2016。 12、 管道保温材料： 高压橡塑海绵（室内20mm/室外30mm），燃烧性能B1级，导热系数≤0.038，氧指数≥32，真空吸水率≤10%，抗老化不龟裂。 13、 防火阀： 70℃镀锌钢板制，内外喷塑。 14、 组合式净化专用机组： 铝合金框架，复合板面板；含混合、初效、表冷、电加热、加湿、送风机、均流、中效、送风段。 15、排风风机控制：排风风机控制根据通风橱实际排风自动调节，恒压保风量。 16、压力梯度与风量确定：压力梯度由新风/排风联动控制；新风量满足人员卫生及压差值，排风量满足污染气体排放及压差值。 17、新风处理：新风经粗、中效过滤，可增设辅助电加热，间接送风。 18、降噪与减震：加压风机用消音箱，配减震吊杆及软接；送风管装微穿孔板消音器，回风管装消音静压箱。 19、消防防火阀：送风系统穿越机房与洁净区隔墙处设70℃防火阀。 20、联合调试：安装完毕须联合调试，满足恒温、恒湿及洁净要求。 | ||||
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