薄膜输运测试自动化传输系统采购成交公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

慧灵

型号

Z-NKD-BM

生产厂商

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产地信息

中国

技术规格及参数

1.1执行机构单元：实现高负载、长距离的样品转运功能。机械臂臂展≥922mm，负载≥5kg；配备一体化柔性电动夹爪，行程≥35mm，可有效完成样本前处理作业；
1.2 配套附件单元：脚踏开关或光电传感器，可适配手套箱大小仓的关门动作需求；
1.3 机架单元：机架及防护外壳，符合整机集成与外观一致性要求；
2.1 采用四轴机械臂，自由度为4；
2.2 1轴臂长为 275 mm，2轴臂长为 225 mm，臂展为 500 mm；1 轴旋转角度为 ±90°；2 轴旋转角度为 ±164°；Z 轴行程为 410 mm；负载≥ 5 kg；重复定位精度优于 ±0.05 mm；线速度≥1400mm/s；机械臂整机重量＜30kg；支持碰撞检测与拖动示教；
2.3 夹具总行程≥ 20 mm；夹具加持力范围30~80 N；
2.4 视觉模块像元尺寸为 1.85 μm×1.85 μm；分辨率为 4024×3036；最大帧率为 9.7 fps；曝光时间为 34 μs~2 s；
2.5 吸盘治具驱动方式为电动；吸力范围 10~50 N；吸嘴材质为软质硅胶或导电硅胶（防划伤、防 ESD）；
3.1 线性电机单元：精确控制底部探针与样品载具之间的接触，形成稳定电流通路，用于薄膜输运性能的电学测试。可实现探针杆组件与 CPMS-9S 冷箱中心口的自动横移对位、下降插入与密封对接；
3.2.X轴行程≥250mm;Z轴行程≥1000mm;中心口对位精度≥0.5mm；
3.3 Z 轴升降电机配电磁失电制动器（断电自锁），防止垂直负载意外下滑；
3.4 加工件为无磁材料，包括但不限于铝合金、SUS304；
4.1 单次测试基片数量≥12 个，每片测试端数≥4端；
4.2接触样品的方式为线性电机驱动弹针主动下压；
4.3 可与Cryodev CPMS-9S冷箱型号对接；
5.1 系统应兼容 RS485、RS232、I/O、MQTT、TCP/IP、Modbus_TCP/RTU协议中的至少两种；系统具备与 LIMS/MES 系统、第三方设备及各组件进行数据交互的能力；系统支持使用边缘控制器进行控制；
5.2 电控系统，以动态**优化为核心，通过多维度算法实现产线任务的智能编排与高效执行，并支持跨平台协作与全流程监控；采用B/S架构，可在 PC、平板终端无缝运行，实现多任务并行处理；集成智能排程引擎，可根据任务类型、设备状态及**占用动态调整执行顺序；支持自动化预排程模式、优先级插入模式、AGV 调度、机械臂上下料、低温工位对接密封、分片收料产线工序编排及动态容错机制；提供拖拽式任务编排界面，实现任务进度与**占用的直观展示；
5.3 系统应支持JSON/CSV实时数据流，数据内容须包含基片编号、时间戳、测试位点、温度、真空度、电导/电阻测量值、设备状态码与警报码；系统的命令响应时间应不大于1s；系统的链路时延应不大于200ms；
5.4 系统应具备故障日志自动上传功能；系统应提供远程诊断接口；
5.5 系统应提供图形化界面并支持拖拽式操作，用户可通过流程图、节点图方式直观设计实验步骤；
系统应提供镀膜上下料、低温对接密封、分片收料等预定义模板，以降低用户学习成本；
系统应支持节点类型变更操作，节点类型须包含操作节点（如镀膜上下料、低温对接密封、分片收料）、条件分支（如阈值判断）、循环控制；
5.6 系统的实时状态反馈刷新间隔应不大于5s。系统应可视化展示设备运行状态（如温度、真空度、动作节拍进度）及流程执行进度。系统应具备异常处理机制，支持预设中断条件（如超温报警），并可触发暂停、回退或通知操作员。
响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

质保期

设备自安装验收合格之日起，提供不少于1年的质保期；

售后要求

招标人报修后，【24】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，提供相同档次、功能的设备给招标人代用。