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岭南师范学院2026年原子层沉积(ALD)系统采购
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
****2026年原子层沉积(ALD)系统采购
竞价公告(****)
说明：各有关当事人对竞价公告内容有异议的，可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。 加急标书代写
一、基本信息
| 竞价编号：**** | |
| 项目名称：****2026年原子层沉积(ALD)系统采购 | |
| 项目预算(元)：600,000.00 | 报价方式： 总价报价 |
| 采购单位：**** | 联系人：田老师 |
| 最少有效报价家数：3 | 联系电话：139****5256 |
| 联系手机：无 | 电子邮箱：无 |
| 异议反馈：020-****9972；****@qq.com | |
| 开始时间：2026-10-27 17:30:08 | 截止时间：2026-10-30 17:30:08加急标书代写 |
| 报价文件要求：本项目要求报价时上传相关文件 | |
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报价方式说明：
总价报价：要求供应商按照清单进行分项报价并乘以数量汇总计算出总价。
单价报价：要求供应商按照清单进行分项报价并汇总计算出单价合计价。 【注意：采购数量为1个的单一产品，一般适用于总价报价，而非单价报价】
下浮率报价：以百分比表示，要求供应商进行统一下浮率报价，计算方式为预算*（1-下浮率）
【举例：预算为10000元，所报下浮率为10%，则成交价为10000*（1-10%）=9000元】 【选择此报价方式则产品数量应填写为1】
折扣报价：以百分比表示，要求供应商进行统一折扣报价，计算方式为预算*折扣
【举例：预算为10000元，所报折扣为9折（表示为90%），则成交价为10000*90%=9000元】【选择此报价方式则产品数量应填写为1】
拍卖报价：要求供应商按照清单进行分项报价并乘以数量汇总计算出总价，价高者中。
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二、资格条件
| 资格条件：1、报价人符合《****政府采购法》第二十二条规定的条件。 2、本项目报价方式为总价报价。3、文件上传要求： （1）中华人民**国境内注册的供应商，报价时须上传营业执照副本复印件加盖报价人公章； （2）报价人所提供设备技术规格必须完全满足供货要求，报价时须按填写报价单并加盖报价人公章； 报价人须按要求将以上材料扫描上传至**教采云零散采购竞价系统。建议制作成一个PDF格式文件上传,若不上传或上传不完整或所上传文件打不开的，则作无效报价处理。报价要求详见附件。 |
三、商务要求
| 付款方式：合同签订并收到发票后45个工作日内，支付合同金额的30%；验收通过并收到发票后45个工作日内，支付剩余合同金额。 | |
| 履约保证金： 合同签订后7个工作日内，供应商支付合同金额的5%的履约保证金。履约保证金在验收通过或服务期结束后，经供应商申请，于30日内无息退回。 | |
| 交付时间： 合同签订后180个工作日内交付 | |
| 交付地址： **省**市**区寸金路29号****（寸金校区）物理楼808室。 | |
| 质保期及售后要求：详见附件 | |
| 其他要求：详见附件 |
四、技术要求
| 1 | 原子层沉积(ALD)系统 | 1.00 | 台 | 详见附件 | 详见附件 | 是 | 1、性能指标： 1.1、适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工 1.2、设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60 ℃，以保证操作的安全性，或同等及以上性能 1.3.1、样品台室温至400 ℃可控，尺寸不小于φ200 mm，可放样品高度不小于10 mm 1.3.2、腔体进气方式：前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔，蒸汽自上而下流经衬底，或同等及以上性能 1.3.3、腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关；耐腐蚀O-ring密封 1.3.4、真空腔体上方具备独立的反应气扩散区域，配备活动式结构，腔体上方所有结构可完全打开，便于清洁 1.3.5、反应腔体内部配备可更换式内衬，维护时便于更换，或同等及以上性能 1.4.1、至少配备3路前驱体源管路： 1路常温源、2路加热源（不低于120 ℃）；其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀，或同等及以上性能 1.4.2、每个前驱体源气路至少配备1个源瓶（≥280mL）和2个进口阀门 1.4.3、配备2路反应物管路，反应物包含H2O、NH3，每路反应物管路分别配备1个进口阀门，阀门最高耐温不小于150℃，或同等及以上性能 1.4.4、反应物管路需加配微调阀，其中NH3管路需配备耐腐蚀微调阀 1.4.5、反应物H2O管路需配备1个经过电解抛光处理且体积不小于190mL的不锈钢源瓶，或同等及以上性能 1.4.6、前驱体管路配有载气（N2），载气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等 1.4.7、吹扫管路采用1个质量流量控制器和1个进口阀门(阀门最高耐温不小于150℃)用于控制惰性气体 1.4.8 管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封 1.5 源瓶系统：室温至120 ℃可控，控制精度：±1 ℃，或同等及以上性能 1.6 加热箱：室温至150 ℃可控，控制精度：±1 ℃，加热箱内管路温度均匀性±5 ℃，或同等及以上性能，或同等及以上性能 1.7 采用固态继电器用于控制加热，符合 UL、CSA、ROHS标准，或同等及以上性能 1.8 真空泵采用双级油封式旋片真空泵，抽速65 m3/h，噪音不大于62 dB 1.9 真空测量：至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计和一个大气压力计，或同等及以上性能 1.10 高真空压力计采用薄膜规，要求高精度，**命，必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性，可在工艺进行的同时进行压力监测，精度：±0.25%读数；响应时间：<20ms；分辨率：≤0.005%FS；符合CE，ROHS规范，或同等及以上性能 1.11. 设备软硬件规格 1.11.1、控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，安装正版操作系统；PLC可支持2 ms扫描周期，或同等及以上性能 1.11.2、输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器，显示器尺寸不小于19 inch，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停，或同等及以上性能 1.11.3、界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能 1.11.4、界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态、腔室压力状态 1.11.5、界面操作系统需具备配方编辑功能，可对工艺参数沉积温度、循环次数、脉冲时间等进行编辑 1.11.6、用户可设定设备及工艺运行时的报警参数，包括但不限于温度、压力、流量等 1.11.7、用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数，包括前驱体源用量追踪及提醒功能 1.11.8、界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理 1.11.9、界面操作系统支持多个配方交替运行，实现单一和多层薄膜材料的制备 1.11.10、界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留 1.11.11、阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间<5 ms，带过电压保护回路，带动作指示灯，或同等及以上性能 1.12. 工艺及服务 1.12.1 工艺验收标准：8英寸（φ200 mm）单晶硅片基底上沉积30 nm Al2O3薄膜，薄膜的不均匀性＜2 %（均匀九点），或同等及以上性能 2、功能要求 2.1能够实现最大8英寸衬底的薄膜沉积，精确制备厚度可控的氧化物、氮化物等功能纳米薄膜，或同等及以上性能； 3、安全要求： 3.1、阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中 3.2、可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关，或同等及以上性能 4、材料要求： 4.1、真空腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理，或同等及以上性能 |
五、附件
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附件（2）
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