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| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 4197-2340SHJT0002/188 | 晶圆背面清洗-铜 | 3台 | 该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000/USD1650 |
| 4197-2340SHJT0002/193 | 浅沟道隔离化学机械研磨机 | 1台 | 该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
| 4197-2340SHJT0002/194 | 外延沉积设备 **度等离子浅槽隔离氧化硅化学气相沉积机 **度等离子磷掺杂氧化硅化学气相沉积机 无定型碳化学气相沉积机 高张应力氮化硅化学气相沉积机 紫外线固化化学气相沉积机 | 2台 2台 1台 1台 1台 3台 | 该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY25000/USD4050 |
| 4197-2340SHJT0002/195 | 钴硅金属/氮化钛沉积机 铜阻障层及铜晶种沉积机 镍硅金属/氮化钛沉积机 金属有机物沉积机 金属栅薄膜沉积 | 1台 2台 1台 2台 1台 | 该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY25000/USD4050 |
| 4197-2340SHJT0002/196 | 电子线宽量测机 亮场缺陷检测机 缺陷检查电子显微镜 缺陷检查电子显微镜 | 8台 1台 1台 1台 | 该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000/USD3250 |
| 4197-2340SHJT0002/197 | 解耦等离子体氮化工艺机 解耦等离子体氮化工艺机 低温快速退火机 高温快速退火机 | 1台 4台 1台 2台 | 该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000/USD3250 |
| **** | 氮化钛金属硬掩模刻蚀 | 1台 | 该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000/USD1650 |
| 4197-2340SHJT0002/199 | 大束流离子注入机 中束流离子注入机 SiC中束流离子注入机 | 9台 4台 1台 | 该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY25000/USD4050 |