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| 1 | 300L/s便携式分子泵组 | N2 抽速:260 l/s,N2 的压缩比 > 1 ×10 11 Ar 抽速:255 l/s,Ar 的压缩比 > 1 ×10 11 H2 抽速: 220 l/s,H2 的压缩比> 9×10 5 最大启动压力:20 mbar 转速:60,000 rpm | 极限压力 <5×10 -10 mbar 连接法兰(入口) DN 100 CF-F | 套 | 3 | 3个月 | **** | ||
| 2 | 高压缩比分子泵 | N2 抽速:260 l/s,N2 的压缩比 > 1 ×10 13 Ar 抽速:255 l/s,Ar 的压缩比 > 1 ×10 13 H2 抽速: 220 l/s,H2 的压缩比>9×10 7 最大启动压力:30 mbar 转速:60,000 rpm | 极限压力 < 1×10 -10 mbar 连接法兰(入口) DN 100 CF-F | 套 | 1 | 3个月 | **** |