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全智能高真空磁控溅射仪 (XJD2026102800030) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2026年10月29日

标书代写官方

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磁控溅射采购公告

招标详情

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***********公司企业信息

全智能高真空磁控溅射仪 (****) 采购公告

发布时间：2026-10-29 09:30:07

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址现场踏勘供应商资质要求

全智能高真空磁控溅射仪	****
2026-10-29 09:30:07	2026-11-01 12:00:00
****	货到安装、调试、验收合格后，付全款。
发布竞价结果后7天内签订合同	合同签订后65天内送达
395000.00	人民币
省市区**

无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

全智能高真空磁控溅射仪

1.00

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

不限

395000.00 元

一、技术要求 1、外形尺寸（主机）：不超过424 mm(L)×345 mm(D)×420 mm(H)。 2、溅射时长：1-9999 s连续可调，最小步长为1 s，时长倒计时结束前连续可调（投标时需提供软件参数证明截图、厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证）。 3、溅射靶头1：直流磁控溅射，可用靶材，所有金属靶材，电流：1-200 mA连续可调，最小调整值为1 mA。 4、溅射靶头2：射频磁控溅射，可用靶材，无机非金属靶材，最大功率不小于150 W，最小调整值为1 W。 5、真空系统：进口涡轮分子泵+旋片式真空泵，涡轮分子泵工作转动频率可在800-1200 Hz调整。（投标时需提供软件参数证明截图、厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证）。 6、抽速：不小于90 L/s + 1.1 L/s。 7、真空测量：复合式真空规。 8、量程范围：不小于1×10-3 ~ 1×105Pa。 ★9、可视化、可拆卸、可清洗真空室：不小于φ200×130 mm高硼硅玻璃，真空室内径不小于200 mm，高度不低于125 mm，可拿掉真空室直接清洗底部污染物。 10、抽气节拍：10分钟（≤5×10-3 Pa），10分钟内优于5×10-3 Pa，具备电流保护和真空保护功能。 11、样品台尺寸：不小于φ125 mm。 ★12、具备可旋转样品台，转速不小于9档可调，最高转速不小于20 r/min。 13、样品台切换：自动控制、自动旋转。 14、溅射靶材尺寸：不小于φ57 mm（厚度 0.1-3 mm）。 ★15、操作界面：不小于7英寸TFT触摸式液晶屏，可实时显示靶材使用时间、仪器运行时间和镀膜厚度；可用实时曲线显示溅射电流和真空度。 16、操作语言：中文（可选其它语言）。 17、冷水机：小型台式制冷机。 18、冷水机功率：不小于180 W。 19、预溅射挡板：标配全自动控制预溅射挡板，挡板打开角度10°-120°可系统内设置调节，同时配置靶头屏蔽罩确保镀膜纯度，减少污染。 20、安装环境：220 V / 10 A三孔插座一个、纯度4N及以上的高纯氩气（出口压力0.12 MPa）。 ★21、内置不少于20种靶材溅射参数，包括金、铂、铬、钨、钛、铝、镍等常用靶材和ITO、AZO、PZT、PVDF等非金属氧化物靶材，可一键调用。（投标时需提供软件参数证明截图、厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证）。 ★22、分子泵转速可调：最高72000转/分钟。 23、分子泵过热保护功能，可系统内设置保护温度。 ★24、膜厚控制测量显示系统：可实现0.1-999.9 nm单次厚度设置，测量精度0.01 nm，显示精度0.1 nm。（投标时需提供软件参数证明截图、厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证）。 ★25、系统采用ARM芯片微处理器控制系统，全数字显示，可实时显示分子泵监测电压、电流、转速、电机温度、轴承温度等工作参数，系统控制权限分两级：Admin，User。（投标时需提供软件参数证明截图、厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证）。 ★26、真空冲洗：可设置冲洗次数、冲洗时间、冲洗压力、排气时间等参数调整，提高腔体洁净度、提升镀膜效果。（投标时需提供软件参数证明截图、厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证）。 ★27、温控组件：可对样品台进行加热，提高膜层的致密性和结合力，温度设定最高值不小于200℃。 ★28、偏压冲洗功能：提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗工件表面（溅射），使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力。（投标时需提供厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证）。 29、具备保护功能：过流保护、真空保护、分子泵过热保护等互锁保护。 ★30、具备01RC电学测试模块：测试接口：2×MCX连接器（单通道）+ 10管脚（1 mm间距）FPC连接器（多通道）（1）电阻：单通道测试，50数据点/秒/通道；（2）多通道测试，待测电阻 lt;10 MΩ，10数据点/秒/通道；（3）电容：单通道测试，50数据点/秒/通道；（4）多通道测试，10数据点/秒/通道（5）量测范围：电阻：0-200 MΩ，电容：0-20 pF。（投标时需提供厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证）。所有带星号★参数，且要求提供软件参数证明截图，厂家参数确认函，或产品彩页，或产品技术说明或出厂检验证明佐证，需要打包上传。

商务要求 1.交货时间地点：合同签订确认后65个工作日内完成供货、安装及调试。交货地点为******校区精密微纳****实验室214室。 2.包装与运输：原厂原包装，中标方负责运输到******校区精密微纳****实验室214室，并现场验收。 3.质保期：整套压力控制系统质保不少于1年，自验收合格之日起计算。 4.售后服务：提供完整的使用和技术培训服务，同时在所有配件使用期间提供必要的技术支持服务、及时的维修服务，4小时内响应给出意见，有现场支持需求的24小时内专业技术人员可到达现场，软件终身免费升级服务，厂家免费定期走访1次/年。需要提供项目的售后服务承诺书，包含培训的安装调试、培训目的、内容、时间等情况介绍，保护客户使用权益。文件自拟，需要打包上传。 5.付款方式：设备全部到货、安装调试完成，经采购人验收合格并完成第三方检定（校准）后，按学校财务制度和合同约定支付货款。 6.增值服务：****公司参加材料、器件制备用户专属活动，学习使用柔性电子打印机、磁控溅射仪、微纳激光加工系统、等离子清洗、多通道挚盒电学测试等设备，覆盖真空薄膜增材制造、溶液打印增材、激光减材微纳加工、器件测试等主流柔性电子制备工艺路线，可制备单层、多层异质复合器件。内容涵盖柔性逻辑电路、柔性三电极、柔性参比电极器件，柔性压力、温度、湿度等传感器件，以及储能电池、电容、发光器件、OLED发光功能器件、全印刷手写电致变色显示屏器件、全印刷可拉伸显示器件、湿度敏感电致发光器件等的制作和测试流程及工艺介绍。