单光束激光聚焦矢量直写（JJ2026000077）采购公告

项目名称

单光束激光聚焦矢量直写

项目编号

****

公告开始日期

2026-10-26 07:31:09

公告截止日期

2026-10-29 12:00:00

采购单位

****

付款方式

货到验收合格付款

联系人

成交后在我参与的项目中查看

联系电话

成交后在我参与的项目中查看

签约时间要求

成交后7个工作日内

到货时间要求

成交后30个工作日内

预算总价

￥ 320000.00

发票要求

收货地址

****校内

供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品

采购数量

计量单位

所属分类

单光束激光聚焦矢量直写

1

台

其他专用仪器仪表

品牌

玉之泉

型号

Edulab-100

预算单价

￥ 320000.00

技术参数及配置要求

（1）单光束激光聚焦矢量直写，单点光斑逐点扫描，支持JPG、TIFF、GDS、DXF矢量图形导入；中心波长为405nm可兼容常用光刻胶曝光波段；照**源波长590nm。提供均匀背景照明，辅助视觉观察。
（2）最小线宽：1μm厚光刻胶下≤3μm
（3）2个物镜，分别为2.5X、5X，手动切换
（4）配置真空吸附样品台
（5）XY平台最大行程：100*100mm，Z轴行程5mm，最小步进精度1μm
（6）矢量扫描速度：最大50mm/s
（7）具备多视场拼接及拼接误差补偿，支持Mark点识别定位
（8）光刻胶适用厚度0.5-150μm，兼容正胶、负胶、SU8厚胶
（9）兼容硅、玻璃、有机薄膜基板，基板厚度0.2-5mm
（10）搭载同轴指示观察光路，配套专用控制软件，可保存多套工艺配方
（11）配置USB3.0接口的 500万像素相机，实现高分辨率成像，支持工件定位、对焦检测及加工过程监控，达到高速数据传输，保证实时图像采集，图像式自动对焦，基于相机图像分析，实现快速精准对焦
（12）供电要求兼容220 V交流电源；具备必要的紫外防护、联锁保护、急停或等效安全设计。在温度22-25℃、相对湿度40%-65%的实验室环境内能正常、稳定工作
（13）原厂安装培训，质保1年

售后服务

质保期：不少于1年，质保期内免费维保不少于1次/年，免人工服务费。质保期满后，仍需提供有偿专业维修服务。服务响应时间：接到维修电话后4小时内给予明确答复，24小时内提供远程诊断或初步解决方案；确需现场维修的，48小时内到达现场或提出经用户认可的替代处理方案;