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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 备注1 | 备注2 |
| 光刻机故障性维修 | 服务>技术服务 | 1.0项 | 1.0项 | 左右移动轴卡顿,真空系统漏气、反光镜老化 | 参与报价的供应商,在报价前电话沟通具体型号,报价时提供报价明细 |