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年产100吨半导体高端光刻材料项目

审批
安徽-合肥-合肥
发布时间： 2026年10月29日
项目详情
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1、建设项目基本信息
企业基本信息
建设单位名称： 建设单位代码类型： 建设单位机构代码： 建设单位法人： 建设单位联系人： 建设单位所在行政区划： 建设单位详细地址：
****
****0100MA8PBA0A3E张凌
杨敏**省**市****开发区
**省**市****开发区**路2666号
建设项目基本信息
项目名称： 项目代码： 项目类型： 建设性质： 行业类别（分类管理名录）： 行业类别（国民经济代码）： 工程性质： 建设地点： 中心坐标： ****机关： 环评文件类型： 环评批复时间： 环评审批文号： 本工程排污许可证编号： 排污许可批准时间： 项目实际总投资(万元)： 项目实际环保投资(万元)： 运营单位名称： 运营单位组织机构代码： 验收监测(调查)报告编制机构名称： 验收监测(调查)报告编制机构代码： 验收监测单位： 验收监测单位组织机构代码： 竣工时间： 调试起始时间： 调试结束时间： 验收报告公开起始时间： 验收报告公开结束时间： 验收报告公开形式： 验收报告公开载体：
年产100吨半导体高端光刻材料项目****
2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造C3985-C3985-电子专用材料制造
********开发区 ********开发区
经度:117.301944 纬度: 31.951667****环境局
2023-08-09
环建审〔2023〕12023号****0100MA8PBA0A3E001U
2025-07-1736041.8
741.36****
****0100MA8PBA0A3E**化工院****公司
****0103MA8P33JY8K******公司
****0100MAD31CDN2X2026-03-31
2026-04-012026-06-30
2026-09-212026-10-26
**建设项目环境信息公示平台（https://www.****.com/gs/）
2、工程变动信息
项目性质
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
产品为电子专用材料制造。产品为电子专用材料制造。
建设项目性质不变，所涉及的产品种类不变。
规模
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
年产100吨半导体高端光刻材料项目分阶段建设，现阶段已建年产38.6吨半导体高端光刻材料产能。
分阶段建设，已建年产38.6吨半导体高端光刻材料，已建产品种类及产能与环评一致。
生产工艺
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
生产流程主要包括：反应淬灭、过滤1、萃取、反应结晶、过滤2、烘干、包装等；产品方案为年产100吨半导体高端光刻材料。与环评一致，已建的38.6t/a半导体高端光刻材料与环评一致，剩余61.4t/a产能暂未建设。
分阶段建设，已建年产38.6吨半导体高端光刻材料，其生产工艺、主要原辅材料无变化。
环保设施或环保措施
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
废气：（1）含氯有机废气经1级冷凝+1级石蜡吸收+2级碱液吸收处理后接入废气总管；罐区呼吸气接入废气总管；总管废气经树脂吸附装置+1根30m排气筒排放。（2）不含氯有机废气经1级碱液吸收+RCO+1级碱液吸收+活性炭吸附装置处理后接入废气总管；含酸废气经1级碱液+1级水吸收处理后接入废气总管；总管废气合并经1根30m排气筒排放。（3）危废库有机废液暂存区收集的废气接入废气总管，经1级树脂吸附装置+1根15m排气筒排放。（4）包装工序粉尘经滤筒除尘器处理+1根30m排气筒（DA004）排放。（5）污水处理区MVR系统不凝气除湿后接入废气总管，调节池等部位产生的有机废气收集接入废气总管，1级活性炭吸附装置+1根15m排气筒排放。 废水：1套处理能力1m3/h的MVR蒸发系统，1座处理能力30m3/d污水站。污水主要处理工艺：预处理（气浮+MVR+芬顿氧化）+混凝沉淀+A/O+MBR；含盐工艺废水、酸性废气吸收塔排水经气浮+MVR蒸发预处理后的冷凝水汇同含氯废气吸收塔排水、不含氯废气吸收塔排水进入芬顿氧化系统预处理。预处理后的高COD、高盐废水汇同保洁废水、检测废水、初期雨水、生活污水等进入污水站综合废水处理系统（混凝沉淀+A/O+MBR）处理；污水站出水汇同纯水制备浓水、冷却循环****园区污水管网。 固废：危险固废委托处置。废气：（1）含氯工艺废气经装置自带1级冷凝预处理，与酸性废气（含氯化氢）合并经2级碱喷淋+除雾+1级活性炭吸附脱附+1级活性炭吸附+1根30m排气筒排放（DA001）。（2）不含氯总管废气经1级碱洗塔+除雾+RTO+急冷+1级碱洗塔处理+1根30m排气筒排放（DA002）。（3）危废库和罐区有机废气收集后经2级活性炭吸附处理+1根15m排气筒排放（DA003）。（4）包装工序粉尘经滤筒除尘器处理+1根30m排气筒排放（DA004）。（5）污水处理区MVR系统不凝气除湿后接入废气总管，调节池等部位产生的有机废气收集接入废气总管，经1级酸洗+1级碱洗+1级水洗+除雾+活性炭吸附处理由30m排气筒排放（DA005）。 废水：1套处理能力1m3/h的MVR蒸发系统，1座处理能力30m3/d污水站，污水主要处理工艺：预处理（气浮+MVR+芬顿氧化）+混凝沉淀+A/O+MBR；含盐工艺废水排水经气浮+MVR蒸发预处理后的冷凝水汇同含氯废气吸收塔排水、不含氯废气吸收塔排水进入芬顿氧化系统预处理。预处理后的高COD、高盐废水汇同保洁废水、检测废水、初期雨水、生活污水等进入污水站综合废水处理系统（混凝沉淀+A/O+MBR）处理；污水站出水汇同纯水制备浓水、冷却循环系统排水等排放至污水管网。 固废：危险固废委托处置。
****在项目建设过程中，为满足**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）排放限值要求，对部分废气处理设施进行了优化调整，具体变化如上所述。
其他
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
设置1座800m3事故池、1座400m3初期雨水池。已建设1座850m3事故池、1座600m3初期雨水池。
事故池、初期雨水池较环评容积增大。
3、污染物排放量
污染物 现有工程（已建成的） 本工程（本期建设的） 总体工程 总体工程（现有工程+本工程） 排放方式 实际排放量 实际排放量 许可排放量 “以新带老”削减量 区域平衡替代本工程削减量 实际排放总量 排放增减量 废水 水量 （万吨/年） COD（吨/年） 氨氮（吨/年） 总磷（吨/年） 总氮（吨/年） 废气 气量 （万立方米/年） 二氧化硫（吨/年） 氮氧化物（吨/年） 颗粒物（吨/年） 挥发性有机物（吨/年）
0 0.594 0.8727 0 0 0.594 0.594
0 0.143 1.047 0 0 0.143 0.143
0 0.0008 0.105 0 0 0.001 0.001
0 0 0 0 0 0 0
0 0 0 0 0 0 0
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0.392 0.464 0 0 0.392 0.392 /
0 0.0012 0.002 0 0 0.001 0.001 /
0 0.411 1.14 0 0 0.411 0.411 /
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 污水站及总排口（DW001） 本项目废水排放执****处理厂接管标准及《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4 中三级排放标准，其中硫酸盐、溶解性总固体（TDS）排放浓度参照《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）中相关限值。 1套处理能力1m3/h的MVR蒸发系统，1座处理能力30m3/d污水站，污水主要处理工艺：预处理（气浮+MVR+芬顿氧化）+混凝沉淀+A/O+MBR；含盐工艺废水排水经气浮+MVR蒸发预处理后的冷凝水汇同含氯废气吸收塔排水、不含氯废气吸收塔排水进入芬顿氧化系统预处理。预处理后的高COD、高盐废水汇同保洁废水、检测废水、初期雨水、生活污水等进入污水站综合废水处理系统（混凝沉淀+A/O+MBR）处理；污水站出水汇同纯水制备浓水、冷却循环系统排水等排放至污水管网。 pH（无量纲）6.7~8.4、化学需氧量(mg/L)20~24、悬浮物(mg/L)14~19、五日生化需氧量(mg/L)8.4~8.5、氨氮(mg/L)0.105~0.132、总氮(mg/L)0.814~0.911、苯(μg/L)ND、硫酸盐(mg/L)95.3~121、氟化物(mg/L)0.832~0.870、氯化物(mg/L)75.8~88.1、溶解性总固体(mg/L)485~513。
表2 大气污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 DA001及其废气处理设施 甲醇、氯化氢执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2排放限值要求；NMHC执行《**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）排放限值要求。 含氯工艺废气经装置自带1级冷凝预处理，与酸性废气（含氯化氢）合并经2级碱喷淋+除雾+1级活性炭吸附脱附+1级活性炭吸附+1根30m排气筒排放（DA001）。 非甲烷总烃:10.3~23mg/m3,1.67×10-2~3.80×10-2 kg/h;氯化氢:0.30~0.80mg/m3,4.70×10-4~1.30×10-3kg/h;甲醇:5~16mg/m3,7.02×10-3~2.63×10-2kg/h。
2 DA002及其废气处理设施 甲醇、氮氧化物、硫酸雾执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2排放限值要求；NMHC、苯、丙酮、苯系物执行《**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）排放限值要求。 不含氯总管废气经1级碱洗塔+除雾+RTO+急冷+1级碱洗塔处理+1根30m排气筒排放（DA002）。 非甲烷总烃：1.74~4.12mg/m3，1.03×10-2~2.41×10-2kg/h；硫酸雾：0.24~0.31mg/m3，2.65×10-3~2.69×10-3kg/h；苯：0.006~0.065mg/m3，3.51×10-5~3.90×10-4kg/h；甲醇：未检出；氮氧化物：6~14mg/m3，3.61×10-2~8.16×10-2kg/h；二氧化硫：未检出；丙酮：1.16~3.58mg/m3，6.79×10-3~2.15×10-2kg/h；苯系物：未检出；正己烷：1.05~4.34mg/m3，6.12×10-3~2.70×10-2kg/h。
3 DA003及其废气处理设施 甲醇执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2排放限值要求；NMHC、苯、丙酮、苯系物执行《**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）排放限值要求。 危废库和罐区有机废气收集后经2级活性炭吸附处理+1根15m排气筒排放（DA003）。 非甲烷总烃：2.67~4.71mg/m3，4.19×10-3~7.43×10-3kg/h；甲醇：未检出；苯：0.026~0.036mg/m3，4.07×10-5~5.90×10-5kg/h；丙酮：1.10~3.01mg/m3，1.74×10-3~4.94×10-3kg/h；正己烷：1.54~3.93mg/m3，2.53×10-3~6.45×10-3kg/h。
4 DA004及其废气处理设施 颗粒物、氟化物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2排放限值要求。 尘废气经滤筒除尘器处理+1根30m排气筒排放（DA004）。 颗粒物：1.1~1.6mg/m3，1.06×10-3~1.55×10-3kg/h；氟化物：0.10~0.11mg/m3，9.22×10-5~1.05×10-4kg/h。
5 DA005及其废气处理设施 甲醇执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2排放限值要求；NMHC、苯执行《**省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）排放限值要求。 水处理区废气经1级酸洗+1级碱洗+1级水洗+除雾+活性炭吸附处理+1根30m排气筒排放（DA005）。 非甲烷总烃：1.64~6.05mg/m3，1.94×10-3~8.05×10-3kg/h；甲醇：未检出；苯：0.060~0.183mg/m3，7.08×10-5~2.25×10-4kg/h。
表3 噪声治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 噪声治理设施 项目厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。 选用低噪声设备，高噪声设备采取减振、隔声等措施。 夜间不生产，昼间噪声51~57dB（A）
表4 地下水污染治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 生产车间、甲类仓库、综合仓库、罐区、污水站、危废库、应急事故池等设施已按重点防渗建设。 生产车间、甲类仓库、综合仓库、罐区、污水站、危废库、应急事故池等设施已按重点防渗建设。
表5 固废治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 设置1间100m2危废库。 已建1间100m2危废库。
表6 生态保护设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表7 风险设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 建设1座800m3事故池、1座400m3初期雨水池 已建设1座850m3事故池、1座600m3初期雨水池
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
本项目为**项目，企业无现有工程及依托工程。本项目为**项目，企业无现有工程及依托工程。
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环保搬迁
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
本项目为**项目，企业不涉及此项建设内容。本项目为**项目，企业不涉及此项建设内容。
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区域削减
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
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生态恢复、补偿或管理
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
/
功能置换
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
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其他
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
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6、工程建设对项目周边环境的影响
地表水是否达到验收执行标准： 地下水是否达到验收执行标准： 环境空气是否达到验收执行标准： 土壤是否达到验收执行标准： 海水是否达到验收执行标准： 敏感点噪声是否达到验收执行标准：
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7、验收结论
序号 根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》有关规定，请核实该项目是否存在下列情形：
1 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用
2 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求
3 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准
4 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复
5 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污
6 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要
7 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成
8 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理
9 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收
不存在上述情况
验收结论 合格
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
400-688-2000
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