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(AXF202600920)热蒸发镀膜系统采购项目分散采购结果公告
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
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一、项目信息
项目名称：热蒸发镀膜系统采购项目
管理部门：****管理处
项目编码：****
采购方式：自行采购
二、采购单位信息
采购单位名称：****
采购单位地址：****碚区天生路2号
联系人：王中长
三、成交信息
成交日期：2026-10-30
成交金额：190000.00元(人民币)
成交供应商：****
供应商联系地址：**市巴城镇东和路1986号巴城智能机器人组装产业园1号厂房二层
四、采购小组成员名单
陈胜垚;何洪;李元
五、项目用途及合同履行日期
项目用途：科研
合同履行日期：2026-10-30
六、主要标的信息
| 1 | 热处理设备 | 热蒸发镀膜系统 | 1 | 台 | 190,000 | GT400DT-S6 | 1 采用型焊接式框架，外观要求白色喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门； 2 底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚； 3 带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面； ★4 基片盘采用嵌入式构结构，可搭载1片135mm*135mm基片，向下兼容，并带水冷功能； 5 电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接； ★6 配备6组舟源，热阻式，带水冷，用于材料蒸发，可蒸发常见金属及金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥350mm； ▲7 配备3台舟源蒸发电源，功率≤1.5KW，电压8V，电流180A，精度0.1A，用于蒸发材料。有电压和电流两种驱动方式； 8 源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染； 9 采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成，显示器通过机械手臂固定在设备框架； ▲10 带有一键自动蒸镀功能，即软件设置好所有材料的相关参数，即可完成抽真空，电源升降功率，电机旋转，材料切换，开关挡板等所有动作； 11 配备2个标准晶振传感器，均为水冷式，安装在基片盘两侧； 12 膜厚控制软件集成在设备控制软件系统中，膜厚速率显示精度在±0.01A/S； ▲13 蒸镀速率，以BCP为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±10%(0.1-0.5A/s)，≤±5%(0.5-10A/s)，≤±4%(>10A/s)；单片内膜厚匀性≤5%； 14真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为400mm*400mm*560mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置； 15真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况； ▲16腔体极限真空优于5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护）； 17带有旁抽系统，可在不关闭分子泵的条件下，打开腔室进行样品及材料的更换； 18 前级泵的抽速不低于24m 3/h 19 主泵采用抽速≥600l/s的分子泵 20主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥150mm； 21 自动抽气控制，带安全互锁功能； 22 配有前级管路等相应的硬件； 23 真空室配真空计，测量范围为大气至10-5pa | 否 | **光拓 | ** | **** |
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