微纳加工实验耗材采购项目采购信息公开(货物类)

发布时间: 2026年10月30日
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一、采购单位:****

二、项目名称:微纳加工实验耗材采购

三、公开信息:

1.货物名称:氧化硅片:4 寸单抛,N100,电阻率 0.002-0.004,厚度 500+-10um,氧化层厚度 300+-10nm 蓝宝石:4 寸,单抛,C 即 C-M 0.2°,厚度 400+-10um 光刻胶:PMGI-SF6 光刻胶:AZ 6130 光刻胶:AZ MIR 701 (14cp) 去胶液:NMP,4L / 瓶 显影液:ZX-238,4L / 瓶

2.数量:1批

3.关键技术指标:电阻率 0.002-0.004,厚度 500+-10um,氧化层厚度 300+-10nm;C 即 C-M 0.2°,厚度 400+-10um

4.预算金额:80,750.00元

5.拟成交供应商:****

6.拟成交价格:80,750.00 元

****

2026年10月30日

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