2026年塔里木大学南疆农林废弃生物质基功能材料与清洁能源转化关键技术研究及应用项目—磁控离子溅射仪设备采购项目竞价公告

发布时间: 2026年10月30日
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一、项目信息

项目名称:2026年****南疆农林废弃生物质基功能材料与清洁能源转化关键技术研究及应用项目—磁控离子溅射仪设备采购项目

项目编号:****
项目联系人及联系方式: 李文涛 133****1413

报价起止时间:2026-10-30 17:56 - 2026-11-04 15:00

采购单位:****

供应商规模要求: -

供应商资质要求: -

供应商基本要求:基本资格要求: 符合《****政府采购法》第二十二条的规定。


二、采购需求清单

商品名称 参数要求 购买数量 控制金额(元) 意向品牌
磁控离子溅射仪 核心参数要求:
商品类目: 分离机; 采购人需求描述:满足采购需求附件要求的技术指标;

次要参数要求:磁控离子溅射仪::;1.设备工作原理:≥1种溅射方式,(包括不限于磁控溅射);;2.输入电压:AC 220V,最大功率≥1000W;;3.溅射靶头:须采用圆形平面磁控靶设计,数量≥2个,可制备金属单质膜层及无机非金属膜层;;4.靶材规格:直径≥57mm,厚度适用范围0.1mm~3mm,最大厚度≥3mm;;5.溅射靶头1:直流磁控溅射≥2种(包括不限于适用金属靶材和无机非金属靶材);;参数:6.系统可实时显示≥4种涡轮分子泵的工作参数(包括不限于转速、电压、电流、轴承温度等)(提供仪器真实截图证明);;7.真空室:采用高透光率的硼硅玻璃,外径≥200mm,高度≥130mm;;8.真空泵:须采用涡轮分子泵与旋片真空泵组合的真空泵组作为抽气单元;;参数:9.涡轮分子泵抽速≥90L/s,工作转速(转动频率)可在800Hz~1200Hz范围内调节;;10.极限真空:系统空载情况下可在15min内≤5×103Pa;;11.真空规:全量程复合真空规,测量范围1×10Pa~1×103Pa;;参数:12.真空度显示≥1种,包括不限于可实时数字显示;;13.样品室进气:配备≥1种,(包括不限于高精度微量进气阀),可自动进气;;14.样品室放气:配备≥1种自动放气阀,可自动放气;;15.直流溅射电流:1mA~200mA连续可调,最小调节步长≤1mA;;16.射频溅射功率:最大功率≥150W,最小调整值≤1W;;17.溅射时长:1s~9999s连续可调,最小步长≤1s;;18.预溅射:须具备全自动预溅射挡板,全自动控制;;19.靶材工艺参数:内置≥20种靶材的溅射工艺参数,包括不限于金、铂、铬、钨、钛、铝、镍等常用靶材和ITO、AZO等非金属氧化物靶材,可在触摸屏上一键调用(提供仪器真实截图证明);;20.样品台:具备可旋转样品台,直径≥φ125mm;;21.样品台转速:4r/min~20r/min可调,最高转速≥20r/min;;22.工作介质:高纯氩气,纯度≥4N;;23.工作模式:≥3种(包含但不限于手动、自动两种工作模式);;24.保护功能:具备电流保护和真空保护功能,在电流过大或真空度较差时自动中止工作流程;涡轮分子泵具备过热保护功能;;25.信息化:须实时显示靶材使用时间和设备工作时间;支持以实时曲线形式显示溅射电流和真空度(提供仪器真实截图证明);;26.操作系统:须采用ARM或单片机等微处理器控制,全数字显示,中文操作界面,彩色触摸式液晶屏显示和操作,屏幕尺寸≥7英寸;;27.溅射电流:可实时数字显示;;28.溅射时间:可实时数字显示并可设定;;29.靶材使用时间:可实时显示并累计;;30.设备工作时间:可实时显示并累计;;31.真空系统状态:可实时显示涡轮分子泵及旋片真空泵的启停与运行状态。;
1件 300000.00 -

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附件: 采购需求书.docx

响应附件要求:需要提供技术响应文件加急标书代写


三、收货信息

送货方式: 送货上门

送货时间: 工作日09:00-17:00

送货期限: 竞价成交后20个工作日内

送货地址: **维吾尔自治区 **市 幸福路街道 ********学院

送货备注: -


四、商务要求

商务项目 商务要求
商务要求 (1)供货周期:20个工作日 (2)质保期: 质保期:质保期自项目验收合格之日起提供3年。质保期内乙方提供免费上门维护和保修服务。设备配套软件永久免费升级。 (3)售后服务: 售后服务:乙方提供3年的售后服务;乙方在30分钟内对甲方的服务要求做出响应,一般问题在4小时内解决,重大问题或其它无法立刻解决的问题在24小时内解决或提出明确的解决方案,否则乙方赔偿相应的损失。

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2026-10-30
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2026年塔里木大学南疆农林废弃生物质基功能材料与清洁能源转化关键技术研究及应用项目—磁控离子溅射仪设备采购项目竞价公告
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