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1、服务对象:精密工艺设备(包括光刻机、刻蚀机、镀膜机等)14台,常规工艺设备66台及其它辅助配套设备; 2、服务内容:1)搬迁前设备状态预检; 2)设备拆卸,包装; 3)到场后安装调试; 4)协助性能验收或检定; 5) 部分设备需要进行专项维保、精度校准
具备独立法人资格,营业执照经营范围包含电子工程、半导体设备维修或技术服务