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| 双极性高功率脉冲磁控溅射电源 | 项目编号**** | |
| 2026-11-02 13:43:21 | 公告截止日期2026-11-05 14:00:00 | |
| **** | 付款方式本合同生效后付50%,货物安装调试运行验收合格后付50% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后84个自然日内 | |
| ¥ 450000.00 | ||
| **市**** | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
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| 双极性高功率脉冲磁控溅射电源 | 1 | 台 |
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| ¥ 450000.00 |
| 1.输出功率:20kW 2.输出电压:0V ~ -1200V(额定脉冲模式及直流模式电压) 3.输出电流:脉冲峰值最大1000A 4.脉冲频率:1 kHz 5.调节方式:可电压、功率调节 6.脉宽:可达999 μs 7.占空比:<50% 8.工作模式:双极HiPIMS电源,同时可作为HiPIMS主电源、HiPIMS模式偏压电源或直流模式偏压电源、常规直流电源 9.正脉冲模块: 1)输出电压:可达150V |
| 12个月 |