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岭南师范学院2026年原子层沉积(ALD)系统采购
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
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****2026年原子层沉积(ALD)系统采购
竞价结果公告(****)
开始时间：2026-10-27 17:30:08 截止时间：2026-10-30 17:30:08
成交单位：****
成交价： 598000.000元
说明：各有关当事人对竞价结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起3天内通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
| 采购单位：**** | 联系人：田老师 |
| E-mail：无 | 联系电话：139****5256 |
| 传真：无 | 联系手机：无 |
| 邮编：无 | 平台联系电话（异议）：020-****9972；****@qq.com |
| 项目名称： ****2026年原子层沉积(ALD)系统采购 | 竞价编号：**** |
| 采购类型：货物类 | 开始时间：2026-10-27 17:30:08 |
| 项目预算(元)：600,000.00 | 结束时间：2026-10-30 17:30:08 |
| 质保期及售后要求：详见附件 | |
| 其他要求：详见附件 |
响应情况
| 资格条件 | 1、报价人符合《****政府采购法》第二十二条规定的条件。 2、本项目报价方式为总价报价。3、文件上传要求： （1）中华人民**国境内注册的供应商，报价时须上传营业执照副本复印件加盖报价人公章； （2）报价人所提供设备技术规格必须完全满足供货要求，报价时须按填写报价单并加盖报价人公章； 报价人须按要求将以上材料扫描上传至**教采云零散采购竞价系统。建议制作成一个PDF格式文件上传,若不上传或上传不完整或所上传文件打不开的，则作无效报价处理。报价要求详见附件。 | 1、报价人符合《****政府采购法》第二十二条规定的条件。 2、本项目报价方式为总价报价。3、文件上传要求： （1）中华人民**国境内注册的供应商，报价时须上传营业执照副本复印件加盖报价人公章； （2）报价人所提供设备技术规格必须完全满足供货要求，报价时按填写报价单并加盖报价人公章； 报价人按要求将以上材料扫描上传至**教采云零散采购竞价系统。 | ||
| 付款方式 | 合同签订并收到发票后45个工作日内，支付合同金额的30%；验收通过并收到发票后45个工作日内，支付剩余合同金额。 | 合同签订并收到发票后45个工作日内，支付合同金额的30%；验收通过并收到发票后45个工作日内，支付剩余合同金额。 | ||
| 交付时间 | 合同签订后180个工作日内交付 | 合同签订后180个工作日内交付 | ||
| 履约保证金： | 合同签订后7个工作日内，供应商支付合同金额的5%的履约保证金。履约保证金在验收通过或服务期结束后，经供应商申请，于30日内无息退回。 | 合同签订后7个工作日内，供应商支付合同金额的5%的履约保证金。履约保证金在验收通过或服务期结束后，经供应商申请，于30日内无息退回。 | ||
| 交付地址 | **省**市**区寸金路29号****（寸金校区）物理楼808室 | |||
| 质保期及售后要求 | 详见附件 | 1.本项目免费质量保证期 1 年，核心部件质保期 3 年。免费质量保证期从货物供货、安装、调试正常且经采购人综合运行验收合格后开始计算。免费质量保证期以整个项目为单位进行响应。 2.售后服务： （1）质保期内非采购人的人为原因而出现产品质量及安装问题，由供应商负责包修、包换或包退，并承担因此而产生的一切费用。 （2）供应商须提供在采购人所在地的售后服务，在接报后即时响应，在8小时内答复，如24小时内无法远程解决的，48小时内到达现场，72小时内处理完毕。若在72小时内仍未能有效解决，供应商须免费提供同档次的设备给采购人临时使用直至故障排除。 | ||
| 其他要求： | 详见附件 | 1.安装调试： （1）供应商必须依照招标（采购）文件的要求和投标（响应）文件的承诺，将设备和系统按规范安装，并调试至正常运行的最佳状态，包括与原有设备的对接调试，并交付使用。 （2）供应商应派有从业资格的技术人员到甲方指定地点完成合同货物清单设备的安装及调试工作。 （3）技术人员在采购人现场进行安装及调试，所产生的一切费用由供应商负责。 （4）如因供应商责任造成的延期，所有因安装及调试延期而产生的费用由供应商负责。 （5）供应商进行安装及调试时，须对安装及调试场地内的其它设备有良好的保护措施，如有设备损坏，要恢复原样。 （6）供应商安装过程中，不得扰乱采购人正常的教学秩序。 2.培训： （1）根据招标（采购）文件采购的设备及相关技术，在投标（响应）文件中提出全面培训计划和课程内容安排，并在合同签订后征得用采购人同意后实施。 （2）培训地点、人数、天数，由供应商列出具体计划并安排实施。 （3）培训应包括设备的安装和维护、常见故障现象及诊断、常见的问题及解决办法、操作系统软件、系统管理和应用软件等。 | ||
| 原子层沉积(ALD)系统 | 详见附件、详见附件 | 1.00 | 详见附件、 详见附件 | 598000.000元 |
| 总报价 | 598000.000 元 | |||
| 原子层沉积(ALD)系统 | 1、性能指标： 1.1、适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工 1.2、设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60 ℃，以保证操作的安全性，或同等及以上性能 1.3.1、样品台室温至400 ℃可控，尺寸不小于φ200 mm，可放样品高度不小于10 mm 1.3.2、腔体进气方式：前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔，蒸汽自上而下流经衬底，或同等及以上性能 1.3.3、腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关；耐腐蚀O-ring密封 1.3.4、真空腔体上方具备独立的反应气扩散区域，配备活动式结构，腔体上方所有结构可完全打开，便于清洁 1.3.5、反应腔体内部配备可更换式内衬，维护时便于更换，或同等及以上性能 1.4.1、至少配备3路前驱体源管路： 1路常温源、2路加热源（不低于120 ℃）；其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀，或同等及以上性能 1.4.2、每个前驱体源气路至少配备1个源瓶（≥280mL）和2个进口阀门 1.4.3、配备2路反应物管路，反应物包含H2O、NH3，每路反应物管路分别配备1个进口阀门，阀门最高耐温不小于150℃，或同等及以上性能 1.4.4、反应物管路需加配微调阀，其中NH3管路需配备耐腐蚀微调阀 1.4.5、反应物H2O管路需配备1个经过电解抛光处理且体积不小于190mL的不锈钢源瓶，或同等及以上性能 1.4.6、前驱体管路配有载气（N2），载气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等 1.4.7、吹扫管路采用1个质量流量控制器和1个进口阀门(阀门最高耐温不小于150℃)用于控制惰性气体 1.4.8 管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封 1.5 源瓶系统：室温至120 ℃可控，控制精度：±1 ℃，或同等及以上性能 1.6 加热箱：室温至150 ℃可控，控制精度：±1 ℃，加热箱内管路温度均匀性±5 ℃，或同等及以上性能，或同等及以上性能 1.7 采用固态继电器用于控制加热，符合 UL、CSA、ROHS标准，或同等及以上性能 1.8 真空泵采用双级油封式旋片真空泵，抽速65 m3/h，噪音不大于62 dB 1.9 真空测量：至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计和一个大气压力计，或同等及以上性能 1.10 高真空压力计采用薄膜规，要求高精度，**命，必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性，可在工艺进行的同时进行压力监测，精度：±0.25%读数；响应时间：<20ms；分辨率：≤0.005%FS；符合CE，ROHS规范，或同等及以上性能 1.11. 设备软硬件规格 1.11.1、控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，安装正版操作系统；PLC可支持2 ms扫描周期，或同等及以上性能 1.11.2、输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器，显示器尺寸不小于19 inch，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停，或同等及以上性能 1.11.3、界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能 1.11.4、界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态、腔室压力状态 1.11.5、界面操作系统需具备配方编辑功能，可对工艺参数沉积温度、循环次数、脉冲时间等进行编辑 1.11.6、用户可设定设备及工艺运行时的报警参数，包括但不限于温度、压力、流量等 1.11.7、用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数，包括前驱体源用量追踪及提醒功能 1.11.8、界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理 1.11.9、界面操作系统支持多个配方交替运行，实现单一和多层薄膜材料的制备 1.11.10、界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留 1.11.11、阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间<5 ms，带过电压保护回路，带动作指示灯，或同等及以上性能 1.12. 工艺及服务 1.12.1 工艺验收标准：8英寸（φ200 mm）单晶硅片基底上沉积30 nm Al2O3薄膜，薄膜的不均匀性＜2 %（均匀九点），或同等及以上性能 2、功能要求 2.1能够实现最大8英寸衬底的薄膜沉积，精确制备厚度可控的氧化物、氮化物等功能纳米薄膜，或同等及以上性能； 3、安全要求： 3.1、阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中 3.2、可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关，或同等及以上性能 4、材料要求： 4.1、真空腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理，或同等及以上性能 | 1、性能指标： 1.1、适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工 1.2、设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60 ℃，以保证操作的安全性，或同等及以上性能 1.3.1、样品台室温至400 ℃可控，尺寸不小于φ200 mm，可放样品高度不小于10 mm 1.3.2、腔体进气方式：前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔，蒸汽自上而下流经衬底，或同等及以上性能 1.3.3、腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关；耐腐蚀O-ring密封 1.3.4、真空腔体上方具备独立的反应气扩散区域，配备活动式结构，腔体上方所有结构可完全打开，便于清洁 1.3.5、反应腔体内部配备可更换式内衬，维护时便于更换，或同等及以上性能 1.4.1、至少配备3路前驱体源管路： 1路常温源、2路加热源（不低于120 ℃）；其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀，或同等及以上性能 1.4.2、每个前驱体源气路至少配备1个源瓶（≥280mL）和2个进口阀门 1.4.3、配备2路反应物管路，反应物包含H2O、NH3，每路反应物管路分别配备1个进口阀门，阀门最高耐温不小于150℃，或同等及以上性能 1.4.4、反应物管路需加配微调阀，其中NH3管路需配备耐腐蚀微调阀 1.4.5、反应物H2O管路需配备1个经过电解抛光处理且体积不小于190mL的不锈钢源瓶，或同等及以上性能 1.4.6、前驱体管路配有载气（N2），载气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等 1.4.7、吹扫管路采用1个质量流量控制器和1个进口阀门(阀门最高耐温不小于150℃)用于控制惰性气体 1.4.8 管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封 1.5 源瓶系统：室温至120 ℃可控，控制精度：±1 ℃，或同等及以上性能 1.6 加热箱：室温至150 ℃可控，控制精度：±1 ℃，加热箱内管路温度均匀性±5 ℃，或同等及以上性能，或同等及以上性能 1.7 采用固态继电器用于控制加热，符合 UL、CSA、ROHS标准，或同等及以上性能 1.8 真空泵采用双级油封式旋片真空泵，抽速65 m3/h，噪音不大于62 dB 1.9 真空测量：至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计和一个大气压力计，或同等及以上性能 1.10 高真空压力计采用薄膜规，要求高精度，**命，必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性，可在工艺进行的同时进行压力监测，精度：±0.25%读数；响应时间：<20ms；分辨率：≤0.005%FS；符合CE，ROHS规范，或同等及以上性能 1.11. 设备软硬件规格 1.11.1、控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，安装正版操作系统；PLC可支持2 ms扫描周期，或同等及以上性能 1.11.2、输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器，显示器尺寸不小于19 inch，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停，或同等及以上性能 1.11.3、界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能 1.11.4、界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态、腔室压力状态 1.11.5、界面操作系统需具备配方编辑功能，可对工艺参数沉积温度、循环次数、脉冲时间等进行编辑 1.11.6、用户可设定设备及工艺运行时的报警参数，包括但不限于温度、压力、流量等 1.11.7、用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数，包括前驱体源用量追踪及提醒功能 1.11.8、界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理 1.11.9、界面操作系统支持多个配方交替运行，实现单一和多层薄膜材料的制备 1.11.10、界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留 1.11.11、阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间<5 ms，带过电压保护回路，带动作指示灯，或同等及以上性能 1.12. 工艺及服务 1.12.1 工艺验收标准：8英寸（φ200 mm）单晶硅片基底上沉积30 nm Al2O3薄膜，薄膜的不均匀性＜2 %（均匀九点），或同等及以上性能 2、功能要求 2.1能够实现最大8英寸衬底的薄膜沉积，精确制备厚度可控的氧化物、氮化物等功能纳米薄膜，或同等及以上性能； 3、安全要求： 3.1、阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中 3.2、可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关，或同等及以上性能 4、材料要求： 4.1、真空腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理，或同等及以上性能 | ||
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