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| 水平蒸馏炉 | 1.0/ | **普特 | PTVD-80A | 二、结构组成: 设备由主机架、加热器、真空机组、真空测量系统、真空管路、石英管、石墨舟、控制柜及控制系统等组成。 三、主要技术性能指标: 1、设备外形尺寸:主机+机组约2500mm×600mm×1300mm(长×宽×高,机组放在主机下部); 2、主机骨架: 2.1、骨架采用型材制作而成; 2.2、设备底部带有脚轮; 2.3、护板表面处理; 3、真空腔体:采用石英腔体,外径φ60±1mm; 4、真空管路:石英管两端配有密封法兰,机组与密封法兰之间采用KF16 波纹管连接,以方便拆装; 5、加热炉体相关参数: 5.1、炉体结构:一体式; 5.2、炉体尺寸:外径φ313×内径φ68mm; 5.3、长期工作温度:≤1150℃; 5.4、设计最高温度:1200℃; 5.5、单点温控稳定性:1200℃±0.1℃; 5.6、开机温度重复性:≤2℃; 5.7、升温速度:≤8℃/分; 5.8、控制区:6 段温区独立控制; 6、真空: 6.1、真空机组:直联泵+分子泵; 6.2、阀门:采用高真空气动挡板阀; 6.3、真空度:空炉冷态极限真空度优于 5.0×103Pa; 6.4、真空测量:采用复合真空计,电离规采用玻璃规管,容易观察; 6.5、泵前配置过滤器; 6.6、石英管一端安装压力传感器; 7、温度控制: 7.1、控温回路由:控温器+调功器+执行元件+热偶组成; 7.2、热偶类型:S 型工业一级; 7.3、测量范围:0~1600℃; 7.4、热偶分配:6 只控温; 7.5、控温仪表:**宇电程序型控温仪表; 7.6、全功能的安全报警系统。 8、气路: 8.1、设备使用两种工艺气体:氢气及氮气,分别配置1 台MFC; 8.2、气体通过:过滤器、气动阀、单向阀及MFC 进入工艺管路(减压器及手动阀用户自备); 8.3、MFC 流量范围:0.1-6 升/分,按相应气体标定; 8.4、设备进气接口为1/4 英寸EP 级管路; 8.5、工艺气体充气阀门采用半导体级隔膜阀; 9、尾气: 9.1、尾气部分独立排放,通过手动阀门最终排放到室外; 9.2、罐体采用304 材质,之间的两节采用软管; 9.3、密封腔体门采用快速锁紧方式; | 1. 质保一年,供应商负责卸货和搬运上楼、免费安装调试、保修期内免费上门保修; 2. 设备必须配齐所有安装配件、部件等材料,要按指定的技术规格参数和品牌供货; 3、其他按行业标准提供服务 |