感应耦合等离子体刻蚀机-公开招标公告

日 期： 2026 年 11 月 3 日

招标编号： ****

中船编号： CSSC-07-261081-004

项目名称： 感应耦合等离子体刻蚀机

**** 受 **** 委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于 2026 年 11 月 3 日 发布招标公告。 本次招标采用线下招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

1.1 项目概况： 采购感应耦合等离子体刻蚀机 1 套，感应耦合等离子体刻蚀机用于对半导体晶圆进行干法刻蚀微纳加工，从而制作出设计好的波导结构图案。其刻蚀过程是化学反应和物理轰击过程所共同作用的结果，其内部包括两套射频电源，其中一套与腔室外缠绕的螺线圈相连，使线圈产生感应耦合电场，腔室内的刻蚀气体在此电场作用下辉光放电产生**度等离子体；另一套与腔室内放置石英平台和样品的下方电极相连，用于产生偏置电压，对等离子体进行加速使其定向作用于样片表面，并将发生化学反应产生挥发性的气体，经过排气口排出，完成样片刻蚀。感应耦合等离子体刻蚀机对晶圆芯片结构加工具有速率快、精度高、表面粗糙度小的优点。感应耦合等离子体刻蚀机将用于铌酸锂光调制芯片研制过程中刻蚀光波导、光栅等结构。

1.2 资金到位或资金来源落实情况：资金来源已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件。

2. 招标内容

2.1 项目实施地点： **市 指定地点 ， 使用人：****研究所

2.2 招标产品列表：

2.3 简要技术规格： 刻蚀铌酸锂速率： ≥ 50nm/min 。

3. 投标人资格要求 `

3.1 投标人应具备的资格或业绩：详见投标资料表 13.3 条款。

3.2 是否接受联合体投标： 否 。

3. 3 本次招标接受代理商投标 ， 如是代理商投标需 提供有效 的 授权 证明 。

3. 4 未在 **** 登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。

4. 招标文件的领购

4.1 、招标文件发售期： 2026 年 11 月 3 日至 2026 年 11 月 10 日，全天（**时间，下同）；

4.2 、凡有意参加投标者，请按如下步骤操作：

（ 1 ） 服务 费：报名成功后，登录中招联合招标采购平台（网址： www.****.cn ）购买并下载招标文件，现场不予受理；招标文件电子版每套售价 0 元，中招联合招标采购平台 收取服务费 200 元， 售后不退。登录中招联合招标采购平台（网址： www.****.cn ）注册会员，在公告栏中寻找有意向参与的项目，点击公告右上角“我要参与”并在线支付标书费完成下载流程，如有采购平台问题请联系客服 400 903 3175 。（注： 服务 费发票按照投标人在中招联合招标采购平台注册信息 由平台运营方 开具，请自行下载电子发票 ， 代理机构不收取任何费用 ）

5. 投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）： 2026 年 11 月 24 日 上 午 9: 0 0 （**时间）标书代写

5.2 投标文件送达地点： **市**区****广场 B 座 18 ****中心

5.3 开标地点： **市**区****广场 B 座 18 ****中心标书代写

6. 发布公告的媒体

6.1 本公告在《 中国国际 招标网》《 中招联合电子采购平台 》《 中国招标投标公共服务平台 》《 中国船舶电子招标投标平台 》上发布。

6.2 接受异议部门 联系人 : 周 老 师电话 : 010-****9717 。