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| 激光加工三维运动平台系统 | 1.0/套 | 195000.0 | 曙微科技 | ZYY-DZSZ-250-250-20 | 1、双驱XY轴行程:250*250mm 2、Z轴行程:20mm 3、重复定位精度:<±0.4μm 4、绝对定位精度:±1μm 5、负载:5kg 6、XY轴速度:100mm/s、Z轴速度:50mm/s 7、Z轴气动抱闸(含空压机) 8、双驱XY轴最大速度:500mm/s 9、Z轴最大速度100mm/s 10、直线度:3μm 11、最小位移量:50nm 12、分辨率:50nm 13、含精密运动控制器(含二次开发包) 14、含精密印度**石底座,表面精度3μm 15、ACS总线驱动器 | 服务时限:报修后2小时;质保期:一年; |