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粉末专用原子层化学气象沉积系统
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***********公司企业信息
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| 采购信息 | |
| 采购单位名称 | |
| 采购项目名称 | 粉末专用原子层化学气象沉积系统 |
| 成交供应商 | **** |
| 成 交 价（元） | 250000 |
| 采购清单 | ||||||
| 序号 | 物资名称 | 规格型号 | 单价（元） | 数量 | 技术参数 | |
| 1 | 粉末专用原子层化学气象沉积系统 | ALD-V401-PRO | 250000 | 1 | 定制毫克级粉末ALD腔体（316L 电解抛光，最高400℃，±1℃控温，初始真空优于8×102 Torr，四区样品台）；4路固 / 液前驱体气路，含O/O反应气路，臭氧产量5 g/h；配进口真空规、≥30 m3/h 机械泵，分段梯度加热；自研控制软件，工艺可编程、安全联锁、实验数据30天可追溯，17寸触控工控机。 | |
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2026-11-04
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