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中南大学 - 竞价公告（CB119422026003347）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-11-04 15:17:58 截止时间：2026-11-09 15:17:26加急标书代写
申购主题： 双靶磁控溅射镀膜仪
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 双靶磁控溅射镀膜仪 | 1.0/ | **成越科学仪器 | XY-CKM400S-2T | 1.电源输入：AC220V，50Hz 5KW2.样品台：外形尺寸φ150mm加热温度≦300℃ 控温精度±1℃ 可调转速≦20rpm，建议10rpm/min3.磁控靶枪：2英寸摆头靶2支,角度可调-45~45度，2个独立的电控气动挡板四个专用阳极罩，既可以防止交叉污染，又容易低气压起辉;靶枪冷却水互锁保护4.靶材尺寸：最大4mm,直径50mm5.冷却方式：循环水冷，温度控制范围：10～25℃ 额定制冷量：0.75kW流量：10L/min，冷却水：纯净水6.真空腔体：腔体尺寸直径φ300mm，高度340mm 腔体材质SUU304不锈钢 观察窗口直径φ100mm7.气体控制：1路质量流量计用于控制Ar，量程：1-500scmm(可选) 额外预留一路气体接口8.真空阀门:高真空电控闸板阀1套；高真空电控切断阀1套；高真空电控旁抽阀1套9.溅射电源:直流电源功率500W*1台；射频电源：300W*1台13.56MHz；带有自动匹配器10.空压机:转速：1380转/分钟 流量：40升/分钟额定排气压力：0.7兆帕11.控制系统: CYKY自研专业级控制系统；15.6寸PLC+触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；语言可切换中英文12.图形可视化操作界面: 设备尺寸600mm×650mm×1280mm13.设备重量:550kg | 按行业标准提供服务 |
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2026-11-04
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