化学气象外延反应腔室

项目名称

化学气象外延反应腔室

项目编号

****

公示开始日期

2026-11-04 17:32:32

公示截止日期

2026-11-06 18:00:00

采购单位

****

付款方式

验收合格后双方签字盖章，凭发票30天内一次性付清；

联系人

中标后在我参与的项目中查看

联系电话

中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求

成交后21工作日

到货时间要求

签约后90工作日

预算

￥ 190,000

供应商资质要求

满足《****政府采购法》第二十二条规定

收货地址

**市**区五山路381号****五山校区

采购物品

采购数量

计量单位

所属分类

是否进口

化学气象外延反应腔室

1

台

日用化学品设备

否

品牌

**科民

规格型号

T-200VC

技术参数

1.腔体：加热采用外置加热结构，反应腔体和反应腔盖外侧均有金属加热器，反应腔内侧无加热机构，防止冷凝。
2.样品台和载板：适用于1片最大不超过直径8英寸玻璃或硅片样品镀膜。
3.温度：基片温度上限不得超过150℃，SnO2反应温度不超过100℃，控制精度±1℃；
4.金属源：2路可加热直通源，配置高温快速隔膜阀（响应时间＜20ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-150℃，控制精度±1℃；
5.氧源：1路常温直通源，配置快速隔膜阀（响应时间＜20ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶；
7.载气系统：2路N2，高精度质量流量计控制，所有前驱体源管路采用316L EP管路+VCR密封，并具有在线清洗功能；
8.整机本底真空＜0.05Torr，真空漏率＜5E-7Pa﹒L/S；
9.设备高度≤850mm，腔室周边预留有和手套箱对接的法兰和O圈接口，以便与手套箱对接。对接方式：将ALD设备推入双工位标准手套箱底部后，通过升降脚架将设备整体升高，至设备法兰和和O圈与手套箱箱体底部法兰开口对准后，锁定升降脚架，是得ALD设备和手套箱大腔能够完成密封，ALD设备的反应腔室盖字能够以上开盖的形式开在手套箱内部。

售后服务

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;