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| 台阶仪 | 1.0/套 | KLA Corporation | Tencor P-7 Stylus Profiler | 配置: P-7探针式轮廓仪:主机;一个2um 45°探针;测量头;电动θ台;1个940nm标准样品;2D,3D测量、应力分析、3D轮廓测量、Apex 3D Basic软件;系统安装调试;售后服务;辅助备件:气震台、真空泵、1根2um 45°探针、1个44nm标准样品、电脑桌。关键指标:1.可量测膜厚范围 4nm-327um 2.膜厚测量范围 150mm 3.膜厚测量重复性 4 (台阶 ≤ 1μm) 0.10%(台阶 > 1μm) 重要指标: 1.横向分辨率2D:0.025μm; 3D:0.5μm 2.垂直分辨率 0.01 / 0.04 / 0.20(低/中/高量程) 3.扫描平整度 0.5mm 扫描下平坦度为 200 2mm 扫描下平坦度为 300 30mm 扫描下平坦度为 400 60mm 扫描下平坦度为 750 130mm 扫描下平坦度为 1700 | 按行业标准提供服务,关键配件要有库存,机台出现问题一周内解决。 |