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| 金刚石先进制造与异质集成系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年12至1月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 金刚石先进制造与异质集成系统 |
| 预算金额: | 1750.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0699其他试验仪器及装置
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| 采购需求概况 : |
1. 采购标的:金刚石先进制造与异质集成系统。 2. 主要功能:面向电子级金刚石材料、半导体器件及先进封装热管理应用需求,建设集金刚石生长与掺杂改性、晶圆级精密加工、表面与界面调控、功能薄膜沉积、异质集成及综合性能表征于一体的先进制造系统,支持金刚石材料与异质结构的制备加工、界面构筑和性能评价。 3. 采购数量:1套。 4. 质量要求:系统应具备良好的运行稳定性、工艺适应性和功能集成能力,各功能单元满足相应的加工、制备及测试需求,支持工艺参数调节、数据采集及代表性样品验证。 5. 服务与安全要求:整机质保不少于3年,质保期内24小时响应、15日内到场维修,提供设备安装调试、操作培训、技术资料、质保及售后技术支持服务。系统应具备必要的电气防护、气路管理、安全联锁和异常报警等功能,满足实验室设备安全运行要求。 6. 时限要求:合同签订后2个月内完成设备交付、安装调试及验收,具体以采购合同约定为准。 7.预算金额:¥ 1750万元
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| 预计采购时间: | 2026-12 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写