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| 湿法处理系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 湿法处理系统 |
| 预算金额: | 1643.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
用于8英寸晶圆刻蚀后有机聚合物去除、溅射前清洗、氧化前清洗、键合前清洗以及二氧化硅腐蚀及相关清洗等关键工艺,支撑MEMS器件图形化、结构释放、表面洁净处理、键合工艺开发及多品类MEMS器件的研发制备
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| 预计采购时间: | 2026-12 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写