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广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年11月至2026年12月政府采购意向
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
公告信息
| ****2026年11月至2026年12月政府采购意向 | ||
| **** | ||
| 2026-11-05 09:48:37 | ||
| 正常公告 |
公告内容
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年11月至2026年12月采购意向公开如下：
| 1 | 自动清洗台 |
标的名称：自动清洗台
标的数量：1
主要功能或目标：功能：在单片旋转工艺腔室内，集成SC1 兆声、SC2 标准 RCA 清洗、氮气干燥功能；通过药液精准供给、旋转喷淋、兆声辅助、物理刷洗，去除晶圆表面颗粒、有机、无机污染物，完成晶圆后道清洗。 目标：用于功率半导体、化合物半导体（SiC、GaN）、硅、玻璃衬底晶圆的制程清洗，满足刻蚀前后、研磨后晶圆的颗粒去除工艺需求。
需满足的要求：1.适用晶圆尺寸：6/8 英寸晶圆，衬底厚度 500~1500μm（±20μm），支持硅、SiC、玻璃、GaN 衬底； 2. 至少配置 4 个工艺腔室，2 个刷洗腔 + 2 个化学兆声清洗腔，具备晶圆翻转功能； 3.支持 MES 对接 4.设备稼动率 Uptime＞90%，晶圆破损率优于 1/50000；
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落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 5,000,000.00 | 2026年12月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026年11月05日
招标进度跟踪
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