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天津大学 - 竞价公告（CB100562026000697）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-11-05 14:50:33 截止时间：2026-11-10 10:00:00加急标书代写
申购主题： 真空气相沉积系统
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **市/市辖区/**区/****
供应商资质：
备注说明： 26CX005333
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 真空气相沉积系统 | 1.0/台（套） | 美国SCS | PDS-2010 | 参数：1.设备外形尺寸：49x61x128cm (长/深/高) 重量：91kg 操作功率：220V, 50Hz, 10A（不含冷凝器） 2.蒸发腔室 原料仓：不锈钢圆筒状，水平放置，料门带耐高温密封及锁紧装置 加热方式：金属加热瓦包裹，料门同步加热，保证蒸发室的加热均匀及响应速度 原料仓容量：单次加料容量 125g 操作温度： 室温~180℃，镀膜过程中蒸发室温度由沉积腔压力自动控制 3.裂解腔室 裂解室：耐高温不锈钢，坚固耐用，垂直放置，易于清理 加热方式：双带隔热加热瓦包裹，加热均匀 操作温度：室温~720℃ 4.沉积腔室 沉积腔罩：电抛光不锈钢，带观察窗，带把手可从机台上移除式 沉积腔尺寸：12 英寸直径 X12 英寸高 内部有效尺寸：220mm x 290mm 内部进气方式：导流管导入 parylene 活性单体 样品放置：置于工装架上，摆放或吊装 旋转底盘：承载工装架的底盘可旋转均匀镀膜 腔内真空度：30 分钟可达 1.33Pa，空载极限真空 可达 0.5Pa（冷阱工作状态下） 真空度测量：与沉积腔相连的真空传感器，带硅胶加热套 防止传感器被镀膜 沉积膜厚：单次蒸发可获得 0.5~70 微米镀膜（C 料） 沉积压力：最小调整单位 1mT，稳定性±1mT 5.控制系统 控制方式：微型 PC 控制，windows 操作系统 操作方式：触摸屏操作（可扩展外接键盘鼠标） 操作软件：SCS 专有涂敷控制软件，可免费升级 软件控制：参数设置及当前值显示 沉积压力闭环控制蒸发温度 蒸发温度及沉积腔压力实时曲线显示 C/N 料选择后主要参数自动切换 沉积结束后报警显示 PDF 沉积报告保存及输出 沉积日志保存所有参数可随时调阅 二级密码保护 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） |
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2026-11-05
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