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| 等离子清洗系统 | 格微/速普 | 370000.00 | 1. 须有国仪量子双束电镜结构件定制授权书。 2.质保期3年,质保期内所有费用供应商承担;质保期后,只收取配件费用,不收取差旅费等其他费用。 3. 本地有常驻工程师,能够上门服务,不接受外地邮寄维修;能够在24小时内上门服务。 4. 安装调试:中标方须提供现场免费安装、调试设备,进行操作试验,直至运行正常。 5. 技术培训:为仪器操作人员提供免费的操作及维护培训。 | 1.工作气压:0.5-40 Pa 2.RF功率:5-50W RF射频功率,恒功率控制,自动匹配 3.安装法兰:标配KF40,可支持KF25及制定不同法兰接口 4.气体模块:标配MFC100sccm流量计(N2)1只 5.操作方式:触摸屏控制 6.尺寸:250*350*110mm(控制器) 178.5*154*99.5mm(RF等离子体源) 7.电源:100-240V AC,50/60Hz 接地三脚插头 8.功耗:<200W。 以上技术参数须提供技术报告,包括但不限于制造商公开发布的印刷资料(彩页或Datasheet)或检测机构出具的检测报告。 | 1.0套 | 定制类 | 370000.00 | **** |