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某结构件磁控溅射钽涂层强结合机理研究系统
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***********公司企业信息
****2027年1月政府采购意向-某结构件磁控溅射钽涂层强结合机理研究系统 详细情况
| 某结构件磁控溅射钽涂层强结合机理研究系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2027年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 某结构件磁控溅射钽涂层强结合机理研究系统 |
| 预算金额： | 520.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
真空应用设备
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| 采购需求概况 ： |
极限真空度：1×10Pa；全腔室空间范围内由大气压抽至标的真空度所需时间：24h以内；溅射功率不低于10kW；基体加热温度范围：室温~300℃；单次工作能够至少兼容Φ300mm*Φ155mm*700mm工件内腔镀膜。
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| 预计采购时间： | 2027-01 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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