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| 离子溅射仪 | 1.0/台 | 深****公司 | ISC 150 | 1.泵组:真空旋片泵 2.抽速:≥ 4 m3/h 3.★极限真空:< 1 Pa 4.工作气压:4 -10 Pa,可恒压控制 5.抽真空时间:<2 Min 6.真空规:皮拉尼真空计 7.★样品腔室尺寸:~Φ150 *120 mm 耐划伤石英玻璃可选配自动样品旋转台 8.磁控溅射靶:靶材尺寸 Φ50 *0.2 mm 9.★溅射电源:恒功率磁控DC溅射电源 Max. 30W ,Max. 100 mA,0-800 V DC 10.溅射时间:可程序设定 11.操作方式:触摸屏控制 12.重量 :~20 kg 13.尺寸:~400 mm长 *337mm深 *346 mm高 14.电源:100-220V AC,50/60Hz 接地三脚插头 15.功耗:<500 W 16.冷却方式:风冷 | 按行业标准提供服务,质保一年,提供培训等 |