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| 探针台 | 1.0/台 | PSAIC 普**业 | EPS4 | 1. 探针台本体:4寸真空卡盘(φ100mm,3层内槽),R轴可旋转,XY行程100mm×100mm,3路真空控制,静电屏蔽底板。 2. 三目体视显微镜:连续变倍0.7X~4.5X,瞳距54~76mm,工作距离100mm,LED环形照明,配C-Mount接口。 3. CMOS高清相机:分辨率3840×2160,30帧/秒,靶面1/1.8英寸,C接口,HDMI+USB双输出。 4. 探针座(4个):XYZ三轴行程各12mm,分辨率10μm,磁性反转底座,仰角可调。 5. 直流测试线缆及夹具(4套):漏电≤1pA,电压0~1500V,电流100fA~1A,1.5m双屏蔽三轴线缆。 6. 测试探针(2盒):钨针弯针,针尖半径≤5μm,配管式夹具。 7. 电磁屏蔽箱(1台):尺寸700×700×800mm,对开门,预留三同轴孔4个、同轴孔4个。 8. 三同轴转接口(4个):Triaxial三轴公转公。 9. 外置连接线缆(4根):三同轴公/母转接,长1.5m,。 10. 微型真空泵(1台):流量7L/min,真空度-250mm/Hg,静音无油。 *11.程控矩阵开关:4x12分组程控矩阵开关,以及程控软件。 | 1. 保修期:验收合格后不少于1年。 2. 提供原厂质保承诺书。 3. 提供免费用户现场探针**装,与用户仪器设备连接调试服务。 |