开启全网商机
登录/注册
松山湖材料实验室化学气相沉积设备采购项目
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
****2026年11月至2027年01月政府采购意向-****化学气相沉积设备采购项目 详细情况
| ****化学气相沉积设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年11月至2027年01月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****化学气相沉积设备采购项目 |
| 预算金额： | 850.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
标的名称:化学气相沉积设备 标的数量:1 主要功能或目标:用于InP/GaAs外延生长，满足6片2英寸或3片3英寸衬底，配备三区控温加热、旋转、真空、多路MO源及PH/AsH、N/H载气单元、真空干泵、水浴槽、PLC控制、安全互锁、原位监测及手套箱，含运输安装调试。 需满足的要求:反应腔漏率≤1×10mbar﹒L/s、控压精度≤±1%；温控最高1250℃；旋转0～100RPM、精度±0.5RPM；真空5.0～1000mbar可调；MO源12路；配PH/AsH及N/H供气路、Ebara或同级别干泵、8个恒温水浴槽、PLC、安全互锁、原位监测及手套箱。
|
| 预计采购时间： | 2027-01 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
