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| 电子材料电极蒸镀仪 | 2.0/台 | 博远微朗(北****公司 | SD-900M | 1、尺寸300mm×360mm×380mm(W×D×H),采用桌面型设计。 2、样品室尺寸160mm×120mm(D×H),采用高透光硼硅酸盐玻璃材质,可实时观察镀膜过程;溅射面积Φ50mm。 3、上部电极(靶)采用Φ50mm×0.1mm规格,溅射均匀性偏差≤±5%。标配1片高纯度铂靶材(纯度≥99.99%);支持靶材铂、金、银、铜等。 4、采用皮拉尼真空计,测量范围精准覆盖1×10-3-1×103mbar,可稳定维持≤4×10-3 mbar的真空度,抽气速度8m3/h;极限真空6.67×10-5Pa。配备微型真空气阀,可直接连接φ3mm软管通惰性保护气体。 5、采用220V AC、50Hz接地三脚插头供电,具备过载、过压双重保护功能;最高电压-800DCV、最大电流100mA;设备标准溅射速率:40nm/分钟。 6、冷却系统: 选配:电冷。通过电冷进一步保护热敏样品不受损伤。 电冷应用情况如下: ①用于非扫描电镜(SEM)热敏感样品预处理。 ②样品对温度极其敏感,如:超薄膜 ③单次溅射时间超过3分钟、需制备较厚膜层 7、0-999S定时器精准控时,支持秒级调节。 8、膜厚测量:支持配备膜厚监测仪。 | 项目实施、安装及验收标准:乙方负责项目运输、安装。由甲方组织相关部门按相关规定进行验收。 (三)质保期:设备在完成供应、安装、调试,并经验收合格后,质保期不少于3年,质保期内提供免费上门服务和技术支持。 (四)售后服务、维修保养:长期提供售后服务和零部件供应,所提供仪器****维修站或配备专业维修工程师,如仪器设备遇到质量问题,24小时内给予答复,72小时内到现场进行维修服务。 技术培训要求:乙方负责设备的技术培训。在用户所在地对操作人员进行为期1~2周的培训,使其能独立进行常规操作,内容涉及设备的基本原理、操作使用和保养、设备简易的故障判别及排除维修。免收培训费和资料费。 |