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天津大学 - 竞价公告(CB100562026000714)

公告-招标公告

天津 -天津

发布时间： 2026年11月10日

标书代写官方

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**** - 竞价公告(****)

发布时间:2026-11-10 15:56:52 截止时间:2026-11-12 10:00:00加急标书代写

申购主题: 原子级沉积系统

报价要求: 国产含税

发票类型: 增值税专用发票

付款方式: 货到验收合格后付款

收货地址: **市/市辖区/**区/****

供应商资质:

备注说明:

送货时间: 合同签订后7天内送达

安装要求: 免费上门安装(含材料费)

预算: 人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

原子级沉积系统

1.0/

普迪

ALD-T200G

1.腔室:外热式单腔腔室,加热结构在真空室外。 2.样品台配有可拆卸片托,可放置200X200mm及以下尺寸; 3.反应温度:最高150°C ,温度控制精度±1°C。 4.三路标准加热前驱体源,配置Swagelok高温快速ALD阀 (响应时间<10ms) 、手动隔膜阀和50mL不锈钢源瓶, 源瓶及管路加热温度室温至200°C,控制精度± 1°C 5. 一路水源,配置Swagelok高温快速ALD阀 (响应时间<10ms) 、手动球阀和50mL不锈钢源瓶 ; 6.含两路载气系统,全套管路+VCR密封,前驱体源管路具有在线清洗功能; 7.高性能真空系统,整机极限真空<5× 10-3 Torr, 真空漏率<5× 10-7Pa ﹒L/s; 8.配置机械泵,额定抽速>60m3/h; 9.空泵前级配置热阱,加热温度最高600°C ,控制精度± 1°C ,用于吸附、分解未反应的前驱体源; 10.压力传感器(真空计),真空计前设有保护真空计的高效过滤网,沉积过程中可以实时监测显示腔室压力的变化。

按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务)