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超表面微透镜阵列（清采比选20261661号）采购公告
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
| 超表面微透镜阵列 | 项目编号**** | |
| 2026-11-11 15:13:49 | 公告截止日期2026-11-14 16:00:00 | |
| **** | 付款方式本合同生效后付90%，货物安装调试运行验收合格后付10% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后30个自然日内 | |
| ￥ 250000.00 | ||
| **市**** | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
采购清单
| 超表面微透镜阵列 | 5 | 块 |
| ￥ 50000.00 |
| 1. 采购数量：5片合格成品。 2. 衬底材料：光学级石英。 3. 结构形式：石英衬底上加工Cr二元振幅编码微透镜阵列，Cr图形层厚度80 nm，单片图形区域7 mm×7 mm，单个微透镜直径50 μm。 5. 特征尺寸：版图包含最小40 nm结构和间隙，关键尺寸绝对偏差不大于10 nm。 6. 加工工艺：使用电子束曝光及配套图形转移工艺，束流≤1nA。 7. 加工质量：功能区域不得存在影响使用的断线、桥连、膜层脱落及明显残留。线缘粗糙度RMS≤3 nm。 8. 检测要求：每片提供全区域光学显微检查图，以及中心和四角位置的SEM检测图(每片表征五个区域，每个区域50x50um，分辨率≤2nm)。检测须覆盖最小特征结构，并提供尺寸实测值、测量位置及Cr膜厚检测结果。 9. 交付要求：报价包含材料、加工、检测、税费及运输费用，交付周期<1个月。 |
招标进度跟踪
2026-11-14
2026-11-11
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