某实验室原子层沉积系统更正公告（三次）

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：****

原公告的采购项目名称：****原子层沉积系统

首次公告日期：2026年08月26日

二、更正信息

更正事项：采购文件标书代写

更正内容：

我公司现对****原子层沉积系统招标文件做出如下答疑澄清。此次答疑澄清为招标文件的组成部分，具有同等效力。答疑澄清内容与招标文件不同之处，按本次答疑澄清内容执行。

项目答疑澄清内容如下：

1.通过全自动高真空等离子体增强原子层沉积和热原子层沉积两种工艺制备氮化钛（TiN）超导薄膜的功能，请问是两种工艺指标都实现还是只实现单一可行另外验收一种工艺是否可行。

答：可只实现一种工艺指标，招标文件中“每套设备均具备通过全自动高真空等离子体增强原子层沉积和热原子层沉积两种工艺制备氮化钛（TiN）超导薄膜的功能，最终实现3D TSV通孔的高质量填充”修改为“每套设备具备通过全自动高真空等离子体增强原子层沉积或热原子层沉积工艺制备氮化钛（TiN）超导薄膜的功能，最终实现3D TSV通孔的高质量填充”。

2.第三章采购需求中3.2主要技术要求：“（9）颗粒（Particle）指标：★②热式工艺新增颗粒数量：数量≤30 颗（粒径≥0.5μm）；数量为0颗（粒径≥10μm）；●③PE工艺新增颗粒数量：数量≤300颗（粒径≥1μm）；数量为0颗（粒径≥10μm）。”修改为：“（9）颗粒（Particle）指标：★②热式工艺新增颗粒数量：数量≤30 颗（粒径≥0.5μm）；数量为0颗（粒径≥10μm）；或 PE工艺新增颗粒数量：数量≤30颗（粒径≥1μm）；数量为0颗（粒径≥10μm）”。

3.删除评分办法中“PE工艺新增颗粒数量（5分）”评分项。

4.“投标产品技术参数及性能（26分）”修改为：投标产品技术参数及性能（31分）：“完全满足第三章采购需求中‘三.技术要求’得31分：1.其中‘★’为实质性要求，不得出现负偏离，如有负偏离视为无效投标；2.标记‘●’的技术要求为重要参数，共计11项，满分27.5分，每负偏离一项扣2.5分；3.未标记的技术要求为一般参数，全部满足得3.5分，否则不得分。注：以技术要求偏离表作为评审依据”。

更正日期：2026年11月11日

三、其他补充事宜

本项目相关信息同时在“中国政府采购网（www.****.cn）、中国招标投标公共服务平台（www.****.cn）、优质采云采购平台（www.****.com）、优质采招标采购平台（www.****.com）”等媒介上发布。

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：zycgr****0801

地址：**省**市

联系方式：苗老师 0551-****9990

2.采购代理机构信息

名 称：****

地 址：**市**区紫云路888号

联系方式：应急客服电话：0551-****0153（接听时间：8:30-12:00,13:30-17:30，节假日除外。潜在投标人应优先拨打项目联系人联系电话，无人接听时再拨打该“应急客服电话”）

3.项目联系方式

项目联系人：刘工、张工、陈工、李工（1501室）

电 话： 0551-****1459、****1461、****1460、****1496、158****7303