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热蒸发镀膜系统

结果-中标通知

山东 -济南

发布时间： 2026年11月12日

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蒸发镀膜

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***********公司企业信息

热蒸发镀膜系统(****)自购结果公示

发布时间：2026-11-12

该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：中标金额：

****

150000

公示开始日期公示截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求收货地址

2026-11-12	2026-11-13 14:22:45
****	货到验收合格后支付100%

大学软件园校区**教研楼107室

采购清单1

采购物品采购数量计量单位

蒸发镀膜机

台

品牌规格型号技术参数售后服务

奇汇	QHV-R75C型
序号项目说明 1. 极限真空优于4×10-5Pa（新设备） 2. 漏率 6.7×10-8Pa﹒L/S 3. 工作真空 5×10-4Pa，从大气到工作真空时间小于30分钟（新设备冷态下,连接手套箱） 4. 系统保压系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa。 5. 样品尺寸 100×100mm. 6. 样品托尺寸 126×126mm. 7. 样品架 0~30转/分。 8. 样品架与源表面距离 320mm固定 9. 蒸发源金属源×2套。（并预留2个金属源蒸发位） 10. 真空室开腔形式手动前大开门结构 11. 膜厚探头水冷2只，安装在样品架下方。 12. 真空计冷规方式。 13. 抽真空方式电动+气动，自动抽取真空，程序控制。 14. 膜厚均匀性性 100mm≤±3%。 15. 膜厚及均一性 100mm≤±5%。 16. 镀膜控制方式速率自动控制，功率控制，温度控制。 17. 对接口可对接手套箱。 18. 蒸发方式速率自动蒸发/功率/温度方式。 19. 其他带防抽爆、自动充气、带环境热偶。 1.1蒸发室 1套此蒸发设备由单真空腔体构成，腔体材质为不锈钢 SUS304，前后开门结构。真空室尺寸为350×350×530mm。内开门嵌套在手套箱内，导轨式，内门上有带挡板观察窗。外开门是折页开门结构，便于设备维护。真空室底板安装蒸发源，侧板上部分位置安装带防污分子泵抽气口，真空室顶板安装样品架和总挡板。真空室底部安装蒸发源自动挡板，底板上安装膜厚探头法兰，侧板上部分安装规管法兰，备用法兰等。外开门为合金铝材料，氟胶圈密封方式。安装上下两套观察窗，并带有挡板。分别观察样品架和蒸发台。真空室内壁及前门，安装有不锈钢屏蔽板，方便拆卸清洗。 1.2蒸发屏蔽板 1套腔室结构屏蔽，底板，上板，2侧板，折弯结构，可以方便拆卸，清洗。 1.3 DN190×90观察窗 1套 DN195×90mm，胶圈密封，用于样品架运动观察。 1.4 DN90观察窗 2套通径为DN90. 胶圈密封，一套安装在内门，一套安装在外门。 1.5 手动观察窗挡板 2套磁耦合密封运动结构。手动开关。用于遮挡相应的观察窗。 1.6样品架 1套无升降，水冷方式。蒸发源和样品距离320mm固定。步进电机电动旋转0～30转/分，可停留特定角度。每次可安装 100mm100mm样品1片。样品架附近带有环境测温。（样品架预留未来增加加热器功能▲） 1.7样品架挡板 1套气动/磁力耦合原理。侧开方式。在真空室外有位置限制。方便操作。 1.8 蒸发源及挡板 2套其中金属源2套，安装在真空室底板上。水冷结构，可以用舟蒸发金属类材料。**中心间距为70mm，可以方便的使用丝或者舟形式蒸发。电动旋转磁力耦合挡板2套，安装于真空室底板。蒸发源之间安装有防污隔板。加热电极有预留的加长功能，以便进一步缩短蒸发源和样品距离。 (预留2个金属蒸发源安装位置，用于未来升级)▲ 1.9膜厚探头 2套国产膜厚探头。 CF35，水冷结构，用于测量蒸发速率。用于测量膜厚和蒸发速率，测量精度0.01 ， 2真空获得系统 1套腔室配有独立真空抽气系统，由机械泵和涡轮分子泵组成。配置LF-FF160/700分子泵1台，抽速≥700 L/S，启动时间<7分钟。（世纪久泰）配置双级直连机械泵1台，机械泵VRD-30抽速≥8L/S （飞跃）配置LF150气动插板阀1套，通径DN150；（KYKY）配置CF35气动角阀1只；配置KF40气动角阀1支；配置KF40电磁压差阀1支；配置手动放气阀1支；配置气动放气阀1支；配置泵阀三通件 1只。配置KF40波纹管管路，3只； 3.电控系统： 3.1工作台 1套工作台是该设备的骨架，安装着支撑部件。方管焊成结构。台面铺有不锈钢装饰板。表面静电喷涂处理。四周有方便拆卸的围板。工作台内部安装设备真空控制单元。 3.2真空控制单元 1套 PLC+触摸屏控制：机械泵预抽阀、前级阀、插板阀、样品架的旋转等在触摸屏操作控制，标配一键抽真空，并带有水压，电压各种安全报警。 3.3总电源单元 1套带急停控制，声光报警，相序指示功能。 3.5分子泵电源 1套用于给分子泵提供控制。 3.6金属蒸发电源 2台可以两源共蒸发，开关电源原理。总功率2KW。10V/200A. （再预留一个金属蒸发电源安装位，和一个基片加热电源安装位）▲ 3.7复合真空计 1套（**睿宝）二低一高。一路连接电阻规，一路连接金属冷规。复合模式，量程自动切换。5214B 3.8膜厚仪 1套配置一台国产膜厚监测仪，比邻双路统一屏显。 3.9水排报警部件 1套四路水排，安装有水压报警检测。 3.10冷水机+气泵一台国产，1.3KW风冷制冷机。控温精度±0.1℃。四﹑设备工作环境 1 供电：配制三相五线制(电压AC380V+N+PE)供电线路到达设备现场，本设备最大功率6kW,最大电流15A，断路器建议4P/D25以上，电源线5x4mm2； 2 实验室内配电箱要有独立地线：＜3； 3 供水（无配套水箱情况下）：流量10L/min，水温25℃； 4 室内相对湿度：＜75%；室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体； 5 镀膜机占地净面积：长×宽×高 1200mm×880mm×1850mm； 6 镀膜机重量：598kg。
服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时;无;

****管理部

2026-11-12

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