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气体靶电动调节架压电平台
招标详情
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400-688-2000
气体靶电动调节架压电平台
发布时间：2026-11-12
采购编号 **** 竞价截止日期 2026-11-18
交货周期
8个月内
交货地点
****
供应商资质需求
技术资料要求
技术说明书、操作手册
技术培训
无
其他要求
必须上传报价单。报****研究所，有效期60天以上，且需列出全部技术指标，有配置清单的，报价单应详细列出 符合《先进阿秒激光设施软件工程（控制软件）设计规范手册》要求
采购物品需求清单
| 1 | 真空旋转位移台 | 4 | 1年 | 24小时 | 包装完好 |
最大垂直负载：≥1 kg
运动行程：360°
双向重复精度：≤±5 μrad
分辨率：≤0.07 μrad
位移台尺寸要求：≤65 × 65 × 13 mm
可适用真空度：2E-7 mbar
保持力矩：≥0.1 N﹒m
驱动力矩：≥0.04 N﹒m
闭环最小步距：3 μrad
最大运动速度≥2.5 °/s
位移台主体材料：钛
|
| 2 | 真空角摆位移台 | 4 | 1年 | 24小时 | 包装完好 |
最大垂直负载：≥1 kg
运动行程：±8°
双向重复精度：≤±10 μrad
分辨率：≤0.05 μrad
位移台尺寸要求：≤35 × 35 × 20 mm
可适用真空度：2E-7 mbar
保持力矩：≥0.2 N﹒m
驱动力矩：≥0.07 N﹒m
闭环最小步距≤2 μrad
最大运动速度≥0.3 °/s
位移台主体材料：不锈钢
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| 3 | 多通道位移台控制器 | 4 | 1年 | 24小时 | 包装完好 |
通道数量≥2，且包括1个主控单元控制各通道之间运动时序
通讯接口：USB、EtherNet、RS485
电机接口：D-Sub15
固件升级：支持控制器固件升级
最高驱动频率：20000 Hz
控制器供电：24 V DC
模拟信号输入：10 V～+10 V（单端）
软件：提供上位机软件、控制指令集及SDK
硬件触发：SMA接口，支持TTL（3.3 V）I/O
其它说明
线缆及接头：专用真空线缆插头
位移台本体功能：静音运动；断电位置自保持
配置总计4个D-Sub15双通道真空馈通：真空适配可适用真空度≤2E-11 mbar；电气接口与运动台真空线缆接头可匹配对接；满足高真空腔体内外信号可靠传输要求
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招标进度跟踪
2026-11-12
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