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| 1 | 超高真空角摆位移台 | 1 | 1年 | 24小时 | 包装完好 |
最大垂直负载:≥2 kg
运动行程:±10°
双向重复精度:≤±7.5 μrad
分辨率:≤0.02 μrad
位移台尺寸要求:≤70 × 70 × 20 mm
可适用真空度:2E-11 mbar
润滑:不需润滑脂
保持力矩:≥0.4 N﹒m
驱动力矩:≥0.15 N﹒m
闭环最小步距≤1 μrad
最大运动速度≥0.3 °/s
位移台主体材料:钛
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| 2 | 单通道位移台控制器 | 1 | 1年 | 24小时 | 包装完好 |
通讯接口:USB、EtherNet、RS485
电机接口:D-Sub15
固件升级:支持控制器固件升级
最高驱动频率:20000 Hz
控制器供电:24 V DC
模拟信号输入:10 V~+10 V(单端)
软件:提供上位机软件、控制指令集及SDK
最大输出功率:单通道30 W
硬件触发:SMA接口,支持TTL(3.3 V)I/O
其它说明
线缆及接头:专用真空线缆插头
位移台本体功能:静音运动;断电位置自保持
配置1个D-Sub15双通道真空馈通:真空适配可适用真空度≤2E-11 mbar;电气接口与运动台真空线缆接头可匹配对接;满足高真空腔体内外信号可靠传输要求
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